Сіз біздің зауыттан MOCVD үшін SiC жабындысы бар графит субстрат пластинкаларын сатып алуға сенімді бола аласыз. Semicorex-те біз Қытайдағы SiC қапталған графит сусцепторының ауқымды өндірушісі және жеткізушісіміз. Біздің өнім жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз өз тұтынушыларымызға олардың нақты талаптарына сәйкес келетін жоғары сапалы өнімдерді ұсынуға тырысамыз. MOCVD-ге арналған SiC қаптамасы бар графитті субстрат пластинасы жартылай өткізгішті өндіру процесі үшін жоғары өнімді тасымалдаушыны іздейтіндер үшін тамаша таңдау болып табылады.
MOCVD үшін SiC қаптамасы графитті субстрат пластинасы жартылай өткізгішті өндіру процесінде шешуші рөл атқарады. Біздің өнім өте тұрақты, тіпті экстремалды ортада да, оны жоғары сапалы вафли өндіру үшін тамаша таңдау жасайды.
MOCVD-ге арналған SiC жабынының графитті субстрат пластинкаларының ерекшеліктері керемет. Оның тығыз беті мен ұсақ бөлшектері оның коррозияға төзімділігін арттырып, қышқылға, сілтіге, тұзға және органикалық реагенттерге төзімді етеді. Тасымалдаушы біркелкі жылу профилін қамтамасыз етеді және ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне кепілдік береді, кез келген ластанулардың немесе қоспалардың вафлиге таралуын болдырмайды.
MOCVD үшін SiC жабынының графитті субстрат пластинкаларының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік беру
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз