MOCVD үшін SiC қапталған пластина тасымалдаушылары

MOCVD үшін Semicorex SiC қапталған пластина тасымалдаушылары жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде пайдалануға арналған жоғары сапалы тасымалдаушы болып табылады. Оның жоғары тазалығы, тамаша коррозияға төзімділігі және тіпті термиялық профилі оны жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің талаптарына төтеп бере алатын тасымалдаушы іздейтіндер үшін тамаша таңдау жасайды.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

MOCVD-ге арналған SiC қапталған тақтайшаларымыз жоғары тазалықпен ерекшеленеді, бұл оның қасиеттері бойынша біркелкі және сәйкес келетін тасымалдаушыны іздейтіндер үшін тамаша таңдау жасайды.
MOCVD үшін SiC қапталған пластина тасымалдаушыларымыз графитке жоғары таза кремний карбиді жабынымен жасалған, бұл оны 1600°C-қа дейінгі жоғары температурада тотығуға жоғары төзімді етеді. Оны өндіруде қолданылатын CVD химиялық бу тұндыру процесі жоғары тазалық пен тамаша коррозияға төзімділікті қамтамасыз етеді. Ол коррозияға төзімділігі жоғары, беті тығыз және ұсақ бөлшектері бар, бұл оны қышқылға, сілтіге, тұзға және органикалық реагенттерге төзімді етеді. Оның жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі 1600°C-қа дейінгі жоғары температурада тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

MOCVD үшін SiC қапталған пластиналы тасымалдаушылардың параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз