Жоғары сапалы эпитаксия және MOCVD процестері үшін PSS процесіне арналған Semicorex компаниясының ICP плазмалық өңдеу жүйесін таңдаңыз. Біздің өнім жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті ұсына отырып, осы процестер үшін арнайы жасалған. Таза және тегіс беті бар біздің тасымалдауышымыз таза вафлилерді өңдеуге өте ыңғайлы.
Semicorex компаниясының PSS процесіне арналған ICP плазмалық өңдеу жүйесі пластинаны өңдеу және жұқа қабықпен тұндыру процестері үшін тамаша жылу мен коррозияға төзімділікті қамтамасыз етеді. Біздің тамаша SiC кристалды жабынымыз таза және тегіс бетті ұсынады, бұл таза пластиналарды оңтайлы өңдеуді қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз өз тұтынушыларымызға жоғары сапалы, үнемді өнімдерді ұсынуға назар аударамыз. Біздің PSS процесіне арналған ICP плазмалық ою жүйесі бағалық артықшылыққа ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарға экспортталады. Біз тұрақты сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды мақсат етеміз.
PSS процесіне арналған ICP плазмалық өңдеу жүйесі туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
PSS процесіне арналған ICP плазмалық сызу жүйесінің параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
PSS процесіне арналған ICP плазмалық сызу жүйесінің ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз