MOCVD жабдығына арналған жартылай өткізгіш пластинаны біздің зауыттан сатып алуға сенімді бола аласыз. Жартылай өткізгіш пластиналар MOCVD жабдығының маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Олар өндіріс процесінде жартылай өткізгіш пластиналарды тасымалдау және қорғау үшін қолданылады. MOCVD жабдығына арналған жартылай өткізгіш пластиналар тасымалдағыштары жоғары таза материалдардан жасалған және өңдеу кезінде пластинаның тұтастығын сақтауға арналған.
MOCVD жабдығына арналған біздің жартылай өткізгіш пластиналар тасымалдағышымыз жартылай өткізгішті өндіру процесінің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Ол CVD әдісімен кремний карбиді жабыны бар жоғары таза графиттен жасалған және бірнеше пластиналарды орналастыруға арналған. Тасымалдаушы өнімділікті арттыру, өнімділікті арттыру, ластануды азайту, қауіпсіздікті арттыру және үнемділік сияқты бірнеше артықшылықтарды ұсынады. Егер сіз MOCVD жабдығына арналған сенімді және жоғары сапалы жартылай өткізгіш пластинаны іздесеңіз, біздің өнім тамаша шешім болып табылады.
MOCVD жабдығына арналған жартылай өткізгіш пластинаны тасымалдаушы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
MOCVD жабдығына арналған жартылай өткізгіш пластинаның параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік беру
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз