CVD SiC қапталған пеш түтіктері

Semicorex CVD SiC қапталғанпеш түтіктеріжартылай өткізгіш пластинаны жоғары температурада өңдеу үшін тұрақты реакциялық камераны қамтамасыз ететін үлкен диаметрлі технологиялық түтіктер. Олар оттегі (реактивті газ), азот (қорғаныс газы) және аз мөлшерде хлор сутегі бар атмосферада жұмыс істеуге арналған, тұрақты жұмыс температурасы шамамен 1250 градус Цельсий.

Semicorex CVD SiC қапталған пеш түтіктерінің артықшылығы

1. Жетілдірілген қалыптау технологиясы және икемді теңшеу өндірісі

3D басып шығару технологиясы, Semicorex арқылы жасалғанCVD SiC-жабылған пеш түтіктері әлсіз жерлері жоқ жіксіз, тұтас керамикалық құрылымға ие. Бұл қалыптау технологиясы сыртқы ластаушы заттарды тиімді болдырмайтын және жартылай өткізгіш пластинаны өңдеу үшін қажетті температураны, қысымды және атмосфералық ортаны сақтайтын ерекше газ өткізбейтін тығыздағышқа кепілдік береді.

Сонымен қатар, 3D басып шығару технологиясы күрделі пішінді өндіруді және дәл өлшемді басқаруды қолдайды. Тапсырыс берушінің тік немесе көлденең пештерімен толық үйлесімділікті қамтамасыз ету үшін әртүрлі талаптарға сәйкес диаметрі, ұзындығы, қабырғасының қалыңдығы және рұқсаттары үшін тапсырыс бойынша шығарылады.

2. Материалды мұқият таңдау және тазалықты бақылау

Semicorex CVD SiC қапталған пеш түтіктері мұқият таңдалған жартылай өткізгішті жоғары таза материалдан жасалған. Олардың матрицасының қоспаларының құрамы 300 PPM-ден төмен бақыланады және CVD SiC жабынының қоспасы 5 PPM-ден аз шектеледі. Бұл қатаң тазалықты бақылау жоғары температуралық жұмыс жағдайларында тұнбаға түсетін металл қоспаларынан туындаған пластинаның ластануын айтарлықтай төмендетеді, бұл соңғы жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен өнімділігін айтарлықтай жақсартады. Сонымен қатар, CVD SiC жабынын пайдалану Semicorex CVD SiC қапталған пеш түтіктерінің жоғары температураға төзімділігін, химиялық коррозияға төзімділігін және термиялық тұрақтылығын арттырады, осылайша олардың қатал жұмыс жағдайында қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады.

Көптеген артықшылықтарға ие бола отырып, Semicorex CVD SiC қапталған пеш түтіктері жартылай өткізгіш пластинаны өңдеу үшін тұрақты, қолайлы және өте таза реакция кеңістігін қамтамасыз ете алады. Semicorex CVD SiC қапталған пеш түтіктерінің арқасында мүмкін болған пештер ішіндегі тұрақты температураның таралуы және тұрақты газ атмосферасы легирлеуші ​​диффузияға, термиялық тотығуға, күйдіруге және жұқа қабықша тұндыруға дәлірек жетуге көмектеседі.