Жоғары тазалық SIC Cantileverever

SICEX жоғары тазалығы SIC Cantilever Hautelever жоғары тазалықпен жасалған, бұл жартылай өткізгіштегі көлденең пештің құрылымдық бөлігі болып табылады. Subicorex - бұл SIC компоненттерін жартылай өткізгіш өнеркәсіпте жеткізу үшін тәжірибелі компания. *

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

SIMICOREX жоғары тазалығы SIC Cantilever FableКремний карбиді керамикалық, әдетте, SISIC. Бұл кремний инфильтрация процесі, беретін процесскремний карбиді керамикалықМатериалдардың күші мен өнімділігі жақсы. Жоғары тазалық SIC Cantileverevever, оның пішіні бойынша, ол ұзын жолақ, жанкүйері бар. Пішіні жоғары температуралы пештің көлденең вафли катерлерін қолдауға арналған.

Ол негізінен тотығу, диффузия, ЖЭО-да және жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылады. Сонымен, атмосфера оттегі (реактивті газ), азот (қалқан газы) және аз мөлшерде сутегі хлориді болып табылады. Температура шамамен 1250 ° C. Сонымен, бұл температуралы тотығу ортасы. Бұл қоршаған ортадағы тотығуға төзімді және жоғары температурада тұра алады.

SICEX жоғары тазалығы SIC Cantilever Peacle-ді 3D басып шығарылған, сондықтан ол бір бөлшектерді қалыптау және ол мөлшері мен өңдеудің жоғары талаптарын қанағаттандыра алады. Кантивервердің жастықшасы 2 бөлікке, денеге және оның жабынымен жасалады, Softorex қоспалық құрамды, денеге арналған 300PM және CVD-дің CIT-қа арналған жабыны үшін <300pm. Осылайша, беті - кіріктірілген қоспалар мен ластаушы заттардың алдын алу үшін ультра жоғары тазалық. Сондай-ақ, жоғары жылулыққа төзімділігі бар материал ұзақ өмір сүреді.

Subicorex өндіріс процесінің өте қымбат процесін жүзеге асырады. СИК денесіне қатысты, біз шикізатты бірінші рет дайындаймыз және SIC ұнтағын араластырамыз, содан кейін қалыптауды және соңғы пішінге айналдырамыз, содан кейін біз тығыздықты және көптеген химиялық қасиеттерді жақсарту үшін бөлікті жасаймыз. Негізгі дене қалыптасады және біз керамиканы тексеріп, өлшемге қойылатын талаптарды орындаймыз. Осыдан кейін біз маңызды тазалауды жүзеге асырамыз. Шаңды, майды кетіру үшін ультрадыбыстық жабдыққа білікті кантилеверді салыңыз. Тазалап болғаннан кейін, жоғары тазалықты SIC Cantilevere-ді құрғатып, кептіру пешіне салыңыз да, су кептірілгенше 4-6 сағат ішінде 80-120 ° C температурада пісіріңіз.

Сонда біз денеде CVD-ді жабуға болады. Қаптау температурасы 1200-1500 ℃, ал қолайлы жылыту қисығы таңдалады. Жоғары температурада, кремний көзі мен көміртегі көзі дұрыс емес SIC бөлшектерін өндіреді. SIC бөлшектері үздіксіз сақталады

SIC тығыз жұқа қабатын қалыптастыру үшін бөлік. Қаптау қалыңдығы, әдетте, 100 ± 20 мкм. Аяқтағаннан кейін өнімдерді түпкілікті тексеру, өнімнің сыртқы түрі, тазалық және өлшемдері және т.б. ұйымдастырылады.