Өнімдер

Эпитаксия және MOCVD сияқты пластинаны өңдеу процестеріне келетін болсақ, Semicorex компаниясының плазмалық өңдеу камераларына арналған жоғары температуралық SiC жабыны ең жақсы таңдау болып табылады. Біздің тасымалдаушылар тамаша SiC кристалды жабынының арқасында жоғары ыстыққа төзімділікті, тіпті термиялық біркелкілікті және ұзақ химиялық төзімділікті қамтамасыз етеді.

Semicorex компаниясының ICP плазмалық өңдеу науасы эпитакси және MOCVD сияқты жоғары температурада пластинаны өңдеу процестері үшін арнайы әзірленген. 1600°C дейінгі тұрақты, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігімен біздің тасымалдаушылар біркелкі жылу профильдерін, ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз етеді және ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайды.

ICP Plasma Etching жүйесіне арналған Semicorex компаниясының SiC қапталған тасығышы эпитакси және MOCVD сияқты жоғары температурада пластинаны өңдеу процестері үшін сенімді және үнемді шешім болып табылады. Біздің тасымалдаушыларда жоғары ыстыққа төзімділікті, тіпті термиялық біркелкілікті және ұзақ химиялық төзімділікті қамтамасыз ететін жұқа SiC кристалды жабыны бар.

Semicorex компаниясының индуктивті қосылатын плазмаға (ICP) арналған кремний карбидімен қапталған сенсоры эпитакси және MOCVD сияқты жоғары температурада пластинаны өңдеу процестері үшін арнайы әзірленген. 1600°C дейінгі тұрақты, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігімен біздің тасымалдаушылар біркелкі жылу профильдерін, ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз етеді және ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайды.

Semicorex компаниясының ICP сызу пластинасы ұстағышы эпитакси және MOCVD сияқты жоғары температурада вафли өңдеу процестері үшін тамаша шешім болып табылады. 1600°C-қа дейінгі тұрақты, жоғары температурада тотығуға төзімділігімен біздің тасымалдаушылар біркелкі термиялық профильдерді, ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз етеді және ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайды.

Semicorex компаниясының ICP Эттинг Тасымалдаушы Пластина - бұл вафлиді өңдеу және жұқа қабықпен тұндыру процестері үшін тамаша шешім. Біздің өнім жоғары жылу және коррозияға төзімділікті, тіпті термиялық біркелкілікті және ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз етеді. Таза және тегіс беті бар біздің тасымалдауышымыз таза вафлилерді өңдеуге өте ыңғайлы.