Semicorex компаниясының индуктивті байланысқан плазмаға (ICP) арналған кремний карбидімен қапталған сенсоры эпитакси және MOCVD сияқты жоғары температурада пластинаны өңдеу процестері үшін арнайы әзірленген. 1600°C дейінгі тұрақты, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігімен біздің тасымалдаушылар біркелкі жылу профильдерін, ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз етеді және ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайды.
Жоғары температура, қатал химиялық орталарға төтеп бере алатын вафельді тасымалдаушы керек пе? Semicorex компаниясының индуктивті байланысқан плазмаға (ICP) арналған кремний карбидімен қапталған сенсорынан басқаны іздемеңіз. Біздің тасымалдаушыларда жоғары ыстыққа төзімділікті, тіпті термиялық біркелкілікті және ұзақ химиялық төзімділікті қамтамасыз ететін жұқа SiC кристалды жабыны бар.
Индуктивті байланысқан плазмаға (ICP) арналған SiC сенсоры туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Индуктивті байланысқан плазма (ICP) үшін сенсордың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Индуктивті байланысқан плазма (ICP) үшін кремний карбидімен қапталған сенсордың ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз