Плазмалық қышқыл камераларына арналған жоғары температуралы SiC жабыны

Эпитаксия және MOCVD сияқты пластинаны өңдеу процестеріне келетін болсақ, Semicorex компаниясының плазмалық өңдеу камераларына арналған жоғары температуралық SiC жабыны ең жақсы таңдау болып табылады. Біздің тасымалдаушылар тамаша SiC кристалды жабынының арқасында жоғары ыстыққа төзімділікті, тіпті термиялық біркелкілікті және ұзақ химиялық төзімділікті қамтамасыз етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Semicorex компаниясында біз вафельді өңдеуге арналған жоғары сапалы жабдықтың маңыздылығын түсінеміз. Сондықтан плазмалық өңдеу камераларына арналған жоғары температуралы SiC жабынымыз жоғары температура мен қатал химиялық тазалау орталары үшін арнайы әзірленген. Біздің тасымалдаушылар біркелкі жылу профильдерін, ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз етеді және ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайды.
Плазма қышқылды камераларға арналған жоғары температуралы SiC жабыны туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Плазмалық қышқыл камералары үшін жоғары температуралы SiC жабынының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Плазмалық қышқыл камералары үшін жоғары температуралы SiC жабынының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз

Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты

Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.

Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.

Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.

- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз

- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік

- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз

Hot Tags: Плазмалық Etch камераларына арналған жоғары температуралы SiC жабыны, Қытай, өндірушілер, жеткізушілер, зауыт, теңшелген, жаппай, кеңейтілген, берік