Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіне арналған Semicorex MOCVD вафельді тасымалдаушылар – жартылай өткізгіш өнеркәсібінде пайдалануға арналған ең озық тасымалдаушы. Оның жоғары таза материалы біркелкі термиялық профильді және ламинарлы газ ағынының үлгісін қамтамасыз етіп, жоғары сапалы пластиналарды береді.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіне арналған MOCVD вафельді тасымалдаушыларымыз жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған, өнімнің біркелкілігі мен консистенциясын қамтамасыз етеді. Ол сондай-ақ коррозияға өте төзімді, беті тығыз және ұсақ бөлшектері бар, бұл оны қышқылға, сілтіге, тұзға және органикалық реагенттерге төзімді етеді. Оның жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі 1600°C-қа дейінгі жоғары температурада тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіне арналған MOCVD вафли тасымалдаушылары туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіне арналған MOCVD вафельді тасымалдаушылардың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз