MOCVD 3x2'' қабылдағыш

Semicorex MOCVD 3x2'' Сусцептор кремний карбидімен (SiC) мұқият жабу процесінен өтетін ультра таза графит сорттарын қолдану арқылы жасалған. Бұл SiC жабыны көптеген маңызды функцияларды орындайды, әсіресе субстратқа ерекше тиімді жылу беруді қамтамасыз етеді. Температураның субстрат бойынша біркелкі таралуына қол жеткізу үшін тиімді жылу беру өте маңызды, осылайша жартылай өткізгіш құрылғыларды жасауда маңызды болып табылатын біртекті және жоғары сапалы жұқа қабықтың тұндыруын қамтамасыз етеді.

MOCVD 3x2'' Сусцептордағы негізгі дизайнды қарастыратын мәселелердің бірі графит негізі мен кремний карбиді жабыны арасындағы термиялық кеңею коэффициенті (CTE) үйлесімділігі болып табылады. Біздің ультра таза графитіміздің термиялық кеңею қасиеттері кремний карбидінің қасиеттеріне мұқият сәйкес келеді. Бұл үйлесімділік MOCVD процесіне тән жоғары температуралық циклдар кезінде термиялық кернеулер мен ықтимал деформациялар қаупін азайтады. Жылу кернеуі кезінде құрылымның тұтастығын сақтау тұрақты өнімділік пен сенімділік үшін өте маңызды, осылайша жартылай өткізгіш пластиналардағы ақаулардың ықтималдығын азайтады.

Жылулық үйлесімділікке қоса, MOCVD 3x2'' Сусцептор MOCVD процестерінде жиі қолданылатын прекурсорлық химиялық заттардың әсеріне ұшыраған кезде берік химиялық инерттілікті көрсетуге арналған. Бұл инерттілік ластануға әкеліп соқтыратын және тұндырылған қабықшалардың тазалығы мен сапасына теріс әсер ететін сезімталдық пен прекурсорлар арасындағы химиялық реакциялардың алдын алу үшін өте маңызды. Химиялық үйлесімділікті қамтамасыз ету арқылы қабылдағыш жұқа қабықшалар мен жалпы жартылай өткізгіш құрылғылардың тұтастығын сақтауға көмектеседі.

Semicorex MOCVD 3x2 '' сенсорын өндіру процесі әрбір қондырғының қатаң сапа және өлшем дәлдігі стандарттарына сай болуын қамтамасыз ететін жоғары дәлдіктегі өңдеуді қамтиды. Әрбір қабылдағыш оның дәлдігі мен дизайн сипаттамаларына сәйкестігін тексеру үшін жан-жақты үш өлшемді сараптамадан өтеді. Бұл қатаң сапаны бақылау процесі субстраттардың сенімді және біркелкі ұсталуына кепілдік береді, бұл пластинаның бетінде біркелкі тұнбаға қол жеткізу үшін маңызды. Тұндырудың біркелкілігі соңғы жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сенімділігі үшін өте маңызды.

Пайдаланушының ыңғайлылығы - MOCVD 3x2'' Susceptor дизайнының тағы бір негізі. Қабылдағыш субстраттарды оңай тиеу мен түсіруді жеңілдету үшін жасалған, бұл операциялық тиімділікті айтарлықтай арттырады. Бұл өңдеудің қарапайымдылығы өндіріс процесін жылдамдатып қана қоймайды, сонымен қатар тиеу және түсіру кезінде субстраттың зақымдану қаупін азайтады, осылайша жалпы өнімділікті арттырады және пластинаның сынуы мен ақауларына байланысты шығындарды азайтады.

Сонымен қатар, MOCVD 3x2'' Сусцепторы қалдықтар мен ластаушы заттарды кетіру үшін тазалау операциялары кезінде жиі қолданылатын күшті қышқылдарға ерекше төзімділік көрсетеді. Бұл қышқылға төзімділік қабылдағыштың бірнеше тазалау циклдерінде құрылымдық тұтастығын және өнімділік сипаттамаларын сақтауды қамтамасыз етеді. Нәтижеде, сенсордың жұмыс істеу мерзімі ұзарады, бұл меншіктің жалпы құнын төмендетуге және уақыт өте келе тұрақты өнімділікті қамтамасыз етуге ықпал етеді.

Қорытындылай келе, Semicorex шығарған MOCVD 3x2'' Susceptor - бұл жылу берудің жоғары тиімділігін, термиялық және химиялық үйлесімділікті, жоғары дәлдіктегі өңдеуді, пайдаланушыға ыңғайлы дизайнды және берік қышқылды қоса алғанда, көптеген артықшылықтарды ұсынатын өте күрделі және жетілдірілген компонент. қарсылық. Бұл мүмкіндіктер оны жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде таптырмас құрал етеді, жартылай өткізгіш пластиналарды жоғары сапалы, сенімді және тиімді өндіруді қамтамасыз етеді. Жетілдірілген MOCVD 3x2'' Susceptor-ды өз процестеріне біріктіру арқылы жартылай өткізгіш өндірушілер жоғары өнімділікке, жақсырақ құрылғы өнімділігіне және үнемді өндіріс цикліне қол жеткізе алады.