Semicorex компаниясының PSS сызу қолданбаларына арналған кремний қаңылтыр тақтасы - эпитаксиалды өсу және пластинаны өңдеу процестері үшін арнайы жасалған жоғары сапалы, ультра таза графит тасымалдаушы. Біздің тасымалдаушы қатал ортаға, жоғары температураға және қатаң химиялық тазалауға төтеп бере алады. PSS сызу қолданбаларына арналған кремний жабынының тамаша жылу тарату қасиеттері, жоғары жылу өткізгіштігі және үнемділігі бар. Біздің өнімдер көптеген еуропалық және американдық нарықтарда кеңінен қолданылады және біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Semicorex компаниясының PSS өңдеу қолданбаларына арналған Silicon Etch Plate ең талап етілетін эпитаксистік жабдық қолданбалары үшін жасалған. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз қатал ортаға, жоғары температураға және қатаң химиялық тазалауға төтеп бере алады. SiC жабыны бар тасымалдаушы тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие, жоғары жылу өткізгіштікке ие және үнемді.
PSS сызу қолданбаларына арналған Silicon Etch Plate параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4 ұпай) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
PSS сызу қолданбаларына арналған кремний қию тақтасының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз