Вафельді өңдеуге арналған Semicorex компаниясының PSS Эттинг тасымалдаушы науасы эпитаксистік жабдықты қажет ететін қолданбалар үшін арнайы жасалған. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз MOCVD, эпитаксистік қабылдағыштар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары үшін және ою сияқты вафельді өңдеу үшін өте қолайлы. Вафельді өңдеуге арналған PSS Эттинг тасымалдаушы науасы жоғары жылу мен коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Біздің өнімдер үнемді және жақсы баға артықшылығы бар. Біз көптеген еуропалық және американдық нарықтарға қызмет көрсетеміз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Semicorex ұсынған пластинаны өңдеуге арналған PSS сызу тасушы науасы эпитаксиалды өсу және вафельді өңдеу процестері үшін қажет қатал орталарға арналған. Біздің ультра таза графит тасығышымыз MOCVD және эпитаксистік сенсорлар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазаларында вафлилерді қолдауға арналған. SiC жабыны бар тасымалдаушы жоғары жылу және коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Біздің өнімдер үнемді және жақсы баға артықшылығын ұсынады.
Вафельді өңдеуге арналған PSS Эттинг тасымалдаушы науаның параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Вафельді өңдеуге арналған PSS Эттинг тасымалдаушы науаның ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз