Вафельді тасымалдауға арналған Semicorex компаниясының PSS өңдеу тасымалдаушысы эпитаксистік жабдықтың ең талап етілетін қолданбаларына арналған. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз қатал ортаға, жоғары температураға және қатаң химиялық тазалауға төтеп бере алады. SiC жабыны бар тасымалдаушы тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие, жоғары жылу өткізгіштікке ие және үнемді. Біздің өнімдер көптеген еуропалық және американдық нарықтарда кеңінен қолданылады және біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Semicorex компаниясынан пластинаны тасымалдауға арналған PSS өңдеу тасымалдағышы эпитаксиалды өсу және пластинаны өңдеу процестері үшін жоғары температура мен қатаң химиялық тазалау талаптарын қанағаттандыруға арналған. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз MOCVD, эпитаксистік қабылдағыштар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары үшін және ою сияқты вафельді өңдеу үшін өте қолайлы. SiC жабыны бар тасымалдаушы тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие, жоғары жылу өткізгіштікке ие және үнемді.
Вафельді тасымалдауға арналған PSS өңдеу тасымалдауышымыз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Вафельді тасымалдауға арналған PSS өңдеу тасымалдаушысының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Вафельді тасымалдауға арналған PSS өңдеу тасымалдаушысының мүмкіндіктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз