Semicorex компаниясының PSS Этчингке арналған Эттинг Тасымалдағыш ұстағышы эпитаксистік жабдықтың ең талап етілетін қолданбаларына арналған. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз қатал ортаға, жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төтеп бере алады. SiC жабыны бар тасымалдаушы тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие, жоғары жылу өткізгіштікке ие және үнемді. Біздің өнімдер көптеген еуропалық және американдық нарықтарда кеңінен қолданылады және біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Semicorex-те біз эпитаксиалды өсу және пластинаны өңдеу процестері үшін қажет қатал орталар үшін арнайы PSS Этчинг үшін Эттинг тасымалдаушы ұстағышын әзірледік. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз MOCVD, эпитаксистік қабылдағыштар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары және ою сияқты вафельді өңдеу үшін өте қолайлы. SiC жабыны бар тасымалдаушы жоғары жылу және коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Біздің өнімдер үнемді және жақсы баға артықшылығын ұсынады.
PSS Etching үшін біздің Эттинг тасымалдаушы ұстағышымыз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
PSS Этчингіне арналған тасушы ұстағышының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4 ұпай) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
PSS Этчингіне арналған штамп ұстағышының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ету
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз