Жартылай өткізгіштерге арналған Semicorex PSS Эттинг тасымалдаушы пластина эпитаксиалды өсу және пластинаны өңдеу процестері үшін қажет жоғары температура мен қатал химиялық тазалау орталары үшін арнайы әзірленген. Жартылай өткізгіштерге арналған ультра таза PSS Эттинг тасымалдаушы пластинамыз MOCVD және эпитаксистік сенсорлар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары кезінде пластиналарды қолдауға арналған. Біздің SiC жабыны бар тасымалдағышымыз жоғары жылу және коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Біз өз тұтынушыларымызға үнемді шешімдерді ұсынамыз және біздің өнімдер көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Semicorex сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.
Semicorex компаниясының жартылай өткізгішке арналған PSS Эттинг тасымалдаушы пластинасы MOCVD, эпитаксистік қабылдағыштар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары үшін және ою сияқты вафельді өңдеу үшін тамаша шешім болып табылады. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз вафлиді қолдауға және қатал химиялық тазалауға және жоғары температуралы ортаға төтеп беруге арналған. SiC жабыны бар тасымалдаушы жоғары жылу және коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Біздің өнімдер үнемді және жақсы баға артықшылығы бар.
Жартылай өткізгішке арналған PSS Etching Carrier Plate туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Жартылай өткізгіштерге арналған PSS сызу тасушы пластинасының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Жартылай өткізгіштерге арналған PSS сызу тасушы пластинасының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз