Алюминий нитриді жылытқыштары

Subicorex алюминий нитридінің жылытқыштары - бұл жоғары жылу өткізгіштік, электр оқшаулау және ерекше беріктігін талап ететін қолданбаларға арналған заманауи керамикалық қыздыру элементтері. Алюминий нитридтер керамикасынан жасалған, бұл жылытқыштар тез және біркелкі жылытуды қамтамасыз етеді, оларды жартылай өткізгіштерді өңдеу, медициналық диагностика, медициналық диагностика және алдыңғы қатарлы аналиторлық құралдар сияқты өте ыңғайлы етеді.

Алюминий нитрид жылытқыштары жартылай өткізгішті жұқа пленкалы жабдықтардағы негізгі компоненттер болып табылады. Олар тікелей технологиялық камераға және вафлимен тікелей байланыста қолданылады. Олар вафлиді алып қана қоймай, вафлидің а 

Тұрақты және біркелкі технологиялық температура. Бұл мүмкіндік вафли бетіне және біркелкі жұқа қабықшалардан жоғары дәлдіктегі реакциялар үшін қажет.

Әдетте, алюминий нитрид жылытқыштары вафли құятын жер беті бар керамикалық субстрат және оны артқы жағында қолдайтын цилиндрлік тіреуіш кіреді. Қыздыруға арналған резистивті қыздыру тізбегінен басқа, rf электродтары және электростатикалық электрод және басқа да өткізгіштер керамикалық субстраттың бетіне және басқа өткізгіштер де беріледі.

Жұқа пленкалармен тұндыру жабдықтары әдетте керамикалық материалдарды қолданадыАлюминий нитридi (ALN)Себебі бұл жоғары температуралы ортаға қатысты. Алюминий нитридінің алюминий жылытқыштарының жартылай өткізгіштеріне ұнайтын себебі, негізінен олардың ерекше физикалық және химиялық қасиеттеріне байланысты. Алюминий нитриді жоғары жылу өткізгіштікке ие емес және қысқа уақыт ішінде тез қыздыруға және салқындатуға қол жеткізе алады, сонымен қатар электр оқшаулау және механикалық беріктікке ие, сонымен қатар жылытқыштың тұрақтылығы мен сенімділігін қамтамасыз ету. Сонымен қатар, алюминий нитридінің жылу кеңею коэффициенті кремнийге ұқсас, ол термиялық стресстің вафлиге әсерін азайтуға және технологиялық өнімділікті жақсартуға көмектеседі.

Жалпы сөйлеу,Керамикалық жылытқыштарнегізінен жұқа пленкамен тұндыру жабдықтарында қолданылады. Жоғары температуралы процестерді қамтитындықтан, қолданылатын керамика материалы негізінен алюминий нитридi; Электростатикалық Чактар ​​негізінен жабдықтарды алып, пайдаланылған керамикалық материал негізінен алюминий оксиді болып табылады. Жартылай өткізгіш технологияның дамуымен керамикалық жылытқыштар мен электростатикалық чактардың арасында қабаттасады. Мысалы, жұқа пленкалармен қапталған керамикалық жылытқыштар электростатикалық чактармен жабдықталған, олар жоғары температуралы жылыту және электростатикалық адсорбцияның қос функциялары бар электростатикалық чактармен жабдықталған. Жабдықтарда қолданылатын электростатикалық Чактар ​​сонымен қатар жоғары температуралы процестерден басталады, ал керамикалық материал алюминий оксидінен алюминийді нитридке ауыстырылуы керек.