Алюминий нитриді электростатикалық патрондар

Алюминий нитридінің электростатикалық патрондары әртүрлі жартылай өткізгішті жасау процестері кезінде пластиналарды сенімді ұстау үшін электростатикалық күштерді пайдаланады. Бұл әдіс механикалық қысқыштардың немесе вакуумдық жүйелердің қажеттілігін жояды, нәзік пластиналардағы бөлшектердің пайда болу қаупін және механикалық кернеуді азайтады. Алюминий нитридінің электростатикалық патрондарының негізгі артықшылықтарының бірі олардың пластинаның бүкіл бетінде біркелкі және тұрақты электростатикалық күшті құру қабілеті болып табылады. Бұл дәйекті жанасуды қамтамасыз етеді және өңдеу кезінде пластинаның сырғып кетуін немесе деформациясын болдырмайды, бұл тұндырылған пленкалардың, оюланған мүмкіндіктердің және басқа да маңызды параметрлердің біркелкілігін жақсартуға әкеледі. Бұл біркелкі қысу күші пластинаның бұрмалануын азайтады, бұл құрылғының өнімділігі мен өнімділігін арттырады.

Оның жылу қасиеттеріне келетін болсақ, алюминий нитриді электростатикалық патрондардың жоғары жылу өткізгіштігі жоғары температуралық процестер кезінде жылуды тиімді таратуға мүмкіндік береді, термиялық кернеуді болдырмайды және пластиналар бойынша температураның біркелкі таралуын қамтамасыз етеді. Бұл локализацияланған қыздыру құрылғының жұмысына теріс әсер етуі мүмкін жылдам термиялық өңдеу және плазмалық өңдеу сияқты қолданбаларда өте маңызды. Сонымен қатар, жартылай өткізгішті өндіру процесі жиі температураның жылдам ауысуын қамтиды. Алюминий нитридінің электростатикалық патрондарының жоғары термиялық соққыға төзімділігі оның кенеттен температураның өзгеруіне деградациясыз немесе крекингсіз төтеп беруге мүмкіндік береді, бұл патронның ұзақ қызмет ету мерзімін және ұзақ пайдалану кезінде сенімді жұмысын қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, AlN кремний пластинкаларына сәйкес келетін термиялық кеңею коэффициентіне (CTE) ие. Бұл үйлесімділік термиялық цикл кезінде вафли-патрон интерфейсінде туындайтын кернеуді азайтып, пластинаның иін, бұрмалануын және құрылғының өнімділігі мен өнімділігіне әсер етуі мүмкін ықтимал ақауларды болдырмайды.

AlN - жоғары иілу беріктігі мен сынуға төзімділігі бар механикалық берік материал. Бұл тән беріктік алюминий нитриді электростатикалық патрондарға жоғары көлемді өндіріс кезінде кездесетін механикалық кернеулерге төтеп беруге мүмкіндік береді, тұрақты өнімділікті және ұзартылған жұмыс мерзімін қамтамасыз етеді. Екінші жағынан, AlN жартылай өткізгіштерді өңдеуде жиі қолданылатын химиялық заттар мен плазмалардың кең спектріне тамаша төзімділік көрсетеді. Ол сондай-ақ жоғары температурада да жоғары тотығуға төзімділігін көрсетеді, бұл алюминий нитриді электростатикалық патрондардың бетінің жұмыс істеу мерзімі бойы таза және ластанбауын қамтамасыз етеді.

Semicorex алюминий нитриді электростатикалық патрондары пластинаның әртүрлі диаметрлері мен технологиялық талаптарды қанағаттандыру үшін әртүрлі өлшемдер мен қалыңдықтарда қол жетімді. Бұл бейімділік оларды жартылай өткізгіштерді өндірудегі қолданбалардың кең ауқымы үшін, ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстардан бастап үлкен көлемді өндіріске дейін қолайлы етеді.