ESC электростатикалық патрон

Semicorex Electrostatic Chuck ESC оның диэлектрлік керамикалық қабатына қолданылатын жоғары вольтты тұрақты токты (тұрақты ток) пайдалана отырып, электростатикалық адгезия принципі бойынша жұмыс істейді. Бұл технология өңдеу кезінде пластиналарды немесе басқа материалдарды қауіпсіз бекітуге мүмкіндік береді, бұл әртүрлі дайындау кезеңдерінде тұрақтылық пен дәлдікті қамтамасыз етеді.

Патронға тұрақты токтың жоғары кернеуін бергенде, керамикалық диэлектрлік қабаттың ішіндегі зарядталған иондар қозғалады және оның бетінде жиналады. Бұл патрон мен өңделетін өнім арасында күшті электростатикалық өріс жасайды. Жасалған электростатикалық тартылыс вафлиді орнында ұстау үшін жеткілікті берік болып табылады, бұл күрделі және жоғары дәлдіктегі операциялар кезінде оның қозғалмайтындығын қамтамасыз етеді. Бұл қауіпсіз ұстау өте маңызды, өйткені ол өңделген пластинаның сапасы мен тұтастығын бұзуы мүмкін микро қозғалыстар мен дірілдерді азайтуға көмектеседі. Вафлиді ең аз механикалық байланыспен бекіту мүмкіндігі де физикалық зақымдануды болдырмайды, бұл дәстүрлі қысу әдістерінен ерекше артықшылық болып табылады.

J-R типті электростатикалық патрон ESC осы электростатикалық адгезияны жасау үшін қажетті кірістірілген электродтармен жабдықталған. Бұл электродтар электростатикалық күшті пластинаның немесе өңделетін басқа материалдардың бетіне біркелкі тарату үшін патрон ішінде орналастырылған. Бұл біркелкі үлестіру тегістеу, иондарды имплантациялау және тұндыру сияқты күрделі процестер кезінде біркелкілікті сақтау үшін қажетті тұрақты қысымды қамтамасыз етеді. ESC Electrostatic Chuck ұсынатын дәл адгезиясы оған заманауи жартылай өткізгіш өндірісінің талап етілетін сипаттамаларын қанағаттандыруға мүмкіндік береді.

Негізгі адгезия функциясынан басқа, ESC электростатикалық патрон температураны басқарудың күрделі жүйесімен ерекшеленеді. Патронда өңделетін өнімнің температурасын реттеуге арналған біріктірілген қыздыру элементтері бар. Температураны бақылау жартылай өткізгіштерді өндіруде шешуші фактор болып табылады, өйткені температураның шамалы ауытқуы да процестің нәтижесіне әсер етуі мүмкін. Электростатикалық патрон ESC пластинаның әртүрлі бөліктерін дербес қыздыруға немесе салқындатуға мүмкіндік беретін көп аймақтық температураны басқаруды ұсынады. Бұл температураның пластинаның бүкіл бетінде дәйекті түрде сақталуын қамтамасыз етеді, біркелкі өңдеу нәтижелеріне ықпал етеді және термиялық зақымдану немесе деформация қаупін азайтады.

Электростатикалық патронды ESC құрастыруда жоғары таза материалдарды пайдалану тағы бір ерекше ерекшелік болып табылады. Бұл патрон үшін таңдалған материалдар жартылай өткізгіштерді өндіруде маңызды мәселе болып табылатын бөлшектердің ластануын азайтуға арналған. Тіпті кішкентай бөлшектердің өзі өндірілетін микроқұрылымдардағы ақауларды тудыруы мүмкін, бұл өнімділіктің төмендеуіне және өнімнің ықтимал сәтсіздігіне әкеледі. Тазалығы жоғары материалдарды пайдалану арқылы ESC Electrostatic Chuck Chuck ластаушы заттарды өңдеу ортасына енгізу қаупін азайтады, осылайша жоғары сапалы өндірісті қолдайды.

Электростатикалық патрон ESC - плазмалық эрозияға төзімділік. Көптеген жартылай өткізгішті процестерде, әсіресе сызу және тұндыру кезінде патрон реактивті плазмалық орталардың әсеріне ұшырайды. Уақыт өте келе бұл әсер патронда қолданылатын материалдарды нашарлатып, оның өнімділігі мен қызмет ету мерзіміне әсер етуі мүмкін. Электростатикалық патрон ESC плазмалық эрозияға қарсы тұру үшін арнайы жасалған, ол тіпті қатал өңдеу орталарында оның құрылымдық тұтастығын және өнімділігін сақтауға мүмкіндік береді. Бұл беріктік қызмет ету мерзімін ұзартады, жиі ауыстыру қажеттілігін азайтады және өндірістік желідегі тоқтап қалуды азайтады.

Электростатикалық патронның ESC механикалық қасиеттері де өте маңызды. Патрон өте қатаң төзімділікпен жасалған, бұл оның нақты қолданбалары үшін қажетті нақты пішін мен өлшемдерді сақтауды қамтамасыз етеді. Біркелкі электростатикалық адгезияны қамтамасыз ету және нәзік пластиналарды зақымдау қаупін азайту үшін қажетті беттің тегістігі мен тегістігіне қол жеткізу үшін жоғары дәлдіктегі өңдеу әдістері қолданылады. Патронның механикалық беріктігі де әсерлі, ол жоғары температурада және жоғары қысымда болатын процестерде деформацияланбай немесе пластинаны сенімді ұстау қабілетін жоғалтпай физикалық кернеулерге төтеп беруге мүмкіндік береді.