Алюминий нитриді керамикалық патрон

Алюминий нитриді керамикалық патрон жартылай өткізгіш пластинаны өңдеуге арналған ең озық шешім болып табылады, ол өндірістің әртүрлі кезеңдерінде вафлиді орнында сенімді ұстау үшін арнайы әзірленген. Электростатикалық патрон (ESC) ретінде жұмыс істейтін бұл инновациялық құрылғы пластинаның дәл және сенімді сақталуын қамтамасыз ету үшін алюминий нитриді керамикасының ерекше қасиеттерін пайдаланады.

Semicorex алюминий нитриді керамикалық патрон пластинаны оның бетіне мықтап ұстау үшін электростатикалық күштерді пайдаланады. Бұған жоғары кернеумен стратегиялық бағыттағы интегралды электродтары бар мұқият құрастырылған білікше арқылы қол жеткізіледі. Нәтижесінде білікше мен пластинаның арасында электростатикалық ұстау күші орнатылып, пластинаны бүкіл өңдеу кезеңдерінде орнында тиімді түрде иммобилизациялайды.

Алюминий нитриді керамикалық патронның ерекше ерекшеліктерінің бірі оның жоғары жылу өткізгіштігі мен оқшаулау қасиеттерінің тамаша үйлесімі болып табылады. Сипаттамалардың бұл бірегей қоспасы оны ESC қолданбалары үшін тамаша материал таңдауына айналдырады. Жоғары жылу өткізгіштік жылуды тиімді бөлуді қамтамасыз етеді, бұл өңдеу кезінде пластина бойынша біркелкі температураның таралуын сақтау үшін өте маңызды. Бір мезгілде оның ерекше оқшаулау қасиеттері патрон мен пластинаның арасындағы электрлік оқшаулауды қамтамасыз етеді, электр кедергісі немесе сезімтал жартылай өткізгіш компоненттердің зақымдалу қаупін азайтады.

Алюминий нитриді керамикалық патрон дәстүрлі патрон материалдарымен салыстырғанда бірнеше артықшылықтарды ұсынады. Оның берік конструкциясы жартылай өткізгіштерді өндіру ортасының қатаң талаптарына төтеп бере алатын ұзақ мерзімді беріктікті қамтамасыз етеді. Оған қоса, оның жоғары температуралық процестермен үйлесімділігі және термиялық кеңеюге төзімділігі оны вафлиді өңдеудің тұрақты және жоғары сапалы нәтижелеріне қол жеткізу үшін таптырмас құрал етеді.