All жылытқыштар

Жартылай өткізгішке арналған жартылай өткізгіш жылытқыштар - бұл жартылай өткізгіш материалдарды жылытуға арналған құрылғы. Негізінен жасалғаналюминий нитридті керамикаМатериал, керемет термиялық өткізгіштікке ие және жоғары температураға төзімділігі жоғары және жоғары температурада тұрақты жұмыс істей алады. Жылытқыш әдетте қарсылық сымын қыздыру элементі ретінде пайдаланады. Қуаттылық сымын қыздыру үшін, жылу жылытқыштың жартылай өткізгіш материалдарын жылытуға дейін жылытқыштың бетіне ауыстырылады. Жартылай өткізгішке арналған аллы жылытқыштар жартылай өткізгіш өндірісінде маңызды рөл атқарады және оны кристалл өсуі, тазарту және пісіру сияқты процестерде қолдануға болады.

Жартылай өткізгіштер өндірісінің алдыңғы процесіне (FEOL) әр түрлі процестер вафлиде, әсіресе вафлиді белгілі бір температураға дейін қыздырып, қатаң қажеттіліктер бар, өйткені температураның біркелкілігі өнімнің біркелкілігіне әсер етеді; Сонымен бірге, жартылай өткізгіш жабдықтар вакуум, плазмалық және химиялық газдар бар ортада жұмыс істеуі керек, онда керамикалық жылытқыштарды (керамикалық жылытқыш) қажет етеді. Керамикалық жылытқыштар жартылай өткізгішті жұқа пленкамен тұндырудың маңызды компоненттері болып табылады. Олар технологиялық камерада қолданылады және вафлиге вафлиге тікелей хабарласып, вафлиді тұрақты және біркелкі температураны алу үшін және вафлиді реакциялау және вафли бетіне реакциялау және жоғары дәлдікпен жасау үшін қосу және қосу.

Керамикалық жылытқыштарға арналған жұқа пленкалармен тұндыру жабдықтары, әдетте, керамикалық материалдарды қолданадыАлюминий нитридi (ALN)жоғары температураға байланысты. Алюминий нитридінің электр оқшаулағыш және керемет жылу өткізгіштігі бар; Сонымен қатар, оның жылу кеңею коэффициенті кремнийге жақын, және ол өте жақсы плазмалық қарсылыққа ие, оны жартылай өткізгіш құрылғы компоненті ретінде пайдалануға өте қолайлы.

ALN жылытқыштарына вафлиді және оны артқы жағынан қолдайтын цилиндрлік тірек денесі кіреді. Керамикалық базаның ішіне немесе үстінде, қыздыруға қарсы құралға қосымша (жылыту қабаты) қосымша, сонымен қатар RF электродасы (RF қабаты) бар. Жылдам қыздыруға және салқындатуға қол жеткізу үшін керамикалық негіздің қалыңдығы жұқа болуы керек, бірақ тым жұқа болуы қаттылықты азайтады. Әдеттегі жылытқыштардың қолдау органы негізінен негізге ұқсас жылу кеңейту коэффициентімен материалдан жасалған, сондықтан қолдау органы көбінесе алюминий нитридінен жасалады. ALN жылытқыштары плазма мен коррозиялық химиялық газдардың әсерінен терминалдар мен сымдарды қорғау үшін біліктің (біліктің) түбінің бірегей құрылымын қабылдайды. Жылытқыштың жылу және шығыс құбыры жылытқыштың біркелкі температурасын қамтамасыз ету үшін қолдау корпусында беріледі. Базалық және қолдау органы байланыстырушы қабатпен химиялық байланысқан.

Қарсылық қыздыру элементі жылытқыш негізіне көмілген. Ол спиральды немесе концентрлік шеңбердің тізбегін қалыптастыру үшін өткізгіш паста (вольфрам, молибден немесе тантал) экраннан басып шығару арқылы пайда болады. Әрине, металл сымы, металл тор, металл фольга және т.б. пайдалануға болады. Экран басып шығару әдісін қолданған кезде бірдей пішіндегі екі керамикалық платалар дайындалып, өткізгіш паста олардың біреуінің бетіне қолданылады. Содан кейін, ол резистивті қыздыру элементін қалыптастыруға арналған, ал басқа керамикалық табаққа резистивті қыздыру элементімен қабаттасып, резистивті қыздыру элементімен қабаттасады, оған негізде көмілген резистивті қыздыру элементімен қабатталады.

Алюминий нитридті керамиканың жылу өткізгіштігіне әсер ететін негізгі факторлар - бұл торттың, оттегінің құрамы, ұнтақты тазалық, ұнтақты тазалық, және т.б., ол алюминий нитридті керамиканың жылу өткізгіштігіне әсер етеді.