Semicorex компаниясының AlN жылытқышы кремний пластинкаларын қолдауға және қыздыруға арналған. Жоғары таза алюминий нитридінен (AlN) жасалған бұл қыздырғыш әртүрлі жоғары дәлдіктегі қолданбалардың, әсіресе жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қажеттіліктерін қанағаттандыратын кеңейтілген мүмкіндіктер жиынтығын ұсынады.**
Жұмыс ортасындағы әмбебаптық
AlN жылытқышының басты атрибуттарының бірі оның әртүрлі жұмыс орталарында, соның ішінде атмосфералық және вакуумдық жағдайларды тиімді орындау қабілеті болып табылады. 1000°C (1832°F) дейін созылатын әсерлі жұмыс температурасы диапазоны арқылы ол бүкіл тақтада жылдам және біркелкі қыздыруды қамтамасыз етеді. Бұл әмбебаптық оны жартылай өткізгішті өндіру құрылғыларынан бастап вакуумды булану жүйелеріне, шашыратқыш машиналарға және химиялық буларды тұндыру (CVD) құрылғыларына дейінгі көптеген қолданбаларға қолайлы етеді.
Агломерлеу процесімен дәлме-дәл инженерия
AlN Heater құрылғысын өндіру процесі вакуумды ыстық престеуді қамтиды, бұл әдеттегі қысымсыз агломерацияға қарағанда әлдеқайда қиын процесс. Бұл күрделі техника қыздырғыштың алюминий нитриді тазалығының тамаша 99,5% жетуін қамтамасыз етеді. Осындай қатаң өндіріс стандарттарын қолдана отырып, Semicorex әрбір AlN жылытқышының ең қиын жағдайларда да сенімді өнімділікті қамтамасыз ететін ерекше механикалық және жылулық қасиеттерге ие екендігіне кепілдік береді.
Ерекше жылу өткізгіштік
AlN жылытқышының ерекше ерекшелігі оның 180 Вт/м*К асатын жоғары жылу өткізгіштігі болып табылады. Бұл жоғары жылу өткізгіштік кең температура диапазонында тамаша жылу біркелкілігіне қол жеткізуде маңызды рөл атқарады, көптеген жоғары дәлдіктегі қолданбалар үшін маңызды фактор. Жылытқышты тиімді және біркелкі жылу бөлуді қамтамасыз ететін 2000 Вт/дюйм² (310 Вт/см²) жеткізуге қабілетті көп қабатты конструкциямен жасауға болады. Бұл мүмкіндік жартылай өткізгішті өңдеуде әсіресе температураны дәл бақылау маңызды болып табылатын жағдайда өте маңызды.
Жоғары коррозияға төзімділік
Жылу қасиеттерінен басқа, AlN жылытқышы коррозияға төзімділігі жоғары. Ол галогендік газдар мен тотықтырғыш орталарға төзімділігі жоғары, сонымен қатар қышқыл және сілтілі ерітінділердің көпшілігіне берік тұрақтылық көрсетеді. Бұл төзімділік коррозиялық заттардың әсері тұрақты алаңдаушылық тудыратын орталарда да ұзақ мерзімді беріктік пен жұмыс тұрақтылығын қамтамасыз етеді. Мұндай беріктік жиі ауыстыру қажеттілігін азайтады, осылайша техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады және жалпы жүйе сенімділігін арттырады.
Жоғары технологиялық салалардағы қолданбалар
Semicorex компаниясының AlN жылытқышы озық атрибуттарының арқасында әртүрлі жоғары технологиялық салаларда таптырмас:
Жартылай өткізгішті өндіру: Қыздырғыштың біркелкі жылытуы және дәл басқаруы оны жартылай өткізгішті өңдеу жабдығында қолдануға өте ыңғайлы етеді, бұл жоғары сапалы пластиналар өндірісін қамтамасыз етеді.
Вакуумды булану жүйелері: оның вакуумдық ортада жоғары температурада жұмыс істеу қабілеті оны басқарылатын қыздыру маңызды болатын вакуумды булану жүйелері үшін тамаша таңдау жасайды.
Шашырату машиналары: AlN Heater жылу өткізгіштігі мен коррозияға төзімділігі субстраттарды жабу үшін қолданылатын тозаңдату машиналарының тиімділігі мен қызмет ету мерзімін арттырады.
Химиялық буларды тұндыру (CVD) құрылғылары: Материалдар химиялық реакциялар арқылы субстраттарға тұндырылатын CVD процестерінде қыздырғыштың біркелкі температураның таралуы дәйекті және жоғары сапалы жұқа қабықшаларды қамтамасыз етеді.
Жетілдірілген өнімділік пен сенімділік
AlN жылытқышының дизайны мен материал құрамы оның жақсартылған өнімділігі мен сенімділігіне ықпал етеді. Алюминий нитридінің тазалығы, қатал агломерациялау процесімен үйлескенде, жылытқыш өте жақсы жұмыс істеп қана қоймайды, сонымен қатар ұзақ уақыт бойы өзінің тұтастығын сақтайды. Бұл сенімділік жабдықтың істен шығуы айтарлықтай тоқтап қалуға және қаржылық шығындарға әкелуі мүмкін қауіпті орталарда өте маңызды.
Реттелетін дизайн
Әртүрлі қолданбалардың бірегей талаптары бар екенін түсіне отырып, Semicorex AlN Heater үшін теңшелетін дизайн опцияларын ұсынады. Қыздырғыштың өлшемін, пішінін немесе қуатын реттей ме, біздің сарапшылар тобы нақты қажеттіліктерге жауап беретін арнайы шешімдерді әзірлеу үшін клиенттермен тығыз жұмыс істейді. Бұл теңшеу деңгейі AlN жылытқышының жалпы тиімділік пен өнімділікті арттыра отырып, бар жүйелерге біркелкі интеграциялануын қамтамасыз етеді.