TaC жабынының графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады.
Тантал карбиді (TaC) — тантал мен көміртектен тұратын қосылыс. Оның металдық электр өткізгіштігі және ерекше жоғары балқу температурасы бар, бұл оны беріктігі, қаттылығы және ыстыққа және тозуға төзімділігімен танымал отқа төзімді керамикалық материал етеді. Тантал карбидтерінің балқу температурасы тазалығына байланысты шамамен 3880 ° C-қа жетеді және бинарлы қосылыстар арасында ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие. Бұл жоғары температура талаптары MOCVD және LPE сияқты құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды процестерінде қолданылатын өнімділік мүмкіндіктерінен асып кеткенде оны тартымды балама етеді.
Semicorex TaC Coating материалының деректері
Жобалар |
Параметрлер |
Тығыздығы |
14,3 (гм/см³) |
Эмиссивтілік |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Қаттылық (HK) |
2000 |
Қарсылық (Ом-см) |
1×10-5 |
Термиялық тұрақтылық |
<2500℃ |
Графит өлшемін өзгерту |
-10~-20um (анықтамалық мән) |
Қаптау қалыңдығы |
≥20um типтік мән (35um±10um) |
|
|
Жоғарыдағылар типтік мәндер |
|
Semicorex тантал карбидімен қапталған сақина жартылай өткізгішті өңдеуде қолданылатын маңызды компонент болып табылады. Ол жартылай өткізгіш машиналардағы графит компоненттерінің тиімділігі мен ұзақ қызмет ету мерзімін арттыру үшін бірнеше функцияларды атқаратын арнайы жабынмен жасалған. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған графит бөлшектері жартылай өткізгішті өңдеудің күрделі ортасына төтеп беру үшін арнайы әзірленген дәлдікпен жасалған компоненттер. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қаптамасы графит қақпағы кристалдардың өсуіне және эпитаксиалды (эпи) процестерге арналған термиялық қолданбалар саласындағы ең озық шешім болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC жабу сақинасы термиялық өрістегі монокристалды өсу саласында негізгі компонент ретінде тұр. Дәлдік пен жаңашылдықпен жасалған бұл арнайы бағыттаушы сақина монокристалды материалды өндірудің күрделі процесінде шешуші рөл атқарады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған вафельді сіңіргіш жартылай өткізгішті эпитаксиалды (эпи) өңдеу үшін металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) пештерінде қолданылатын шешуші компонент болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC тантал карбидімен қапталған пластина - бұл жартылай өткізгіш өндірісінің, әсіресе эпитаксиалды (эпи) өңдеу сатысында қатаң талаптарын қанағаттандыруға арналған озық шешім. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу