TaC жабынының графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады.
Тантал карбиді (TaC) — тантал мен көміртектен тұратын қосылыс. Оның металдық электр өткізгіштігі және ерекше жоғары балқу температурасы бар, бұл оны беріктігі, қаттылығы және ыстыққа және тозуға төзімділігімен танымал отқа төзімді керамикалық материал етеді. Тантал карбидтерінің балқу температурасы тазалығына байланысты шамамен 3880 ° C-қа жетеді және бинарлы қосылыстар арасында ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие. Бұл жоғары температура талаптары MOCVD және LPE сияқты құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды процестерінде қолданылатын өнімділік мүмкіндіктерінен асып кеткенде оны тартымды балама етеді.
Semicorex TaC Coating материалының деректері
Жобалар |
Параметрлер |
Тығыздығы |
14,3 (гм/см³) |
Эмиссивтілік |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Қаттылық (HK) |
2000 |
Қарсылық (Ом-см) |
1×10-5 |
Термиялық тұрақтылық |
<2500℃ |
Графит өлшемін өзгерту |
-10~-20um (анықтамалық мән) |
Қаптау қалыңдығы |
≥20um типтік мән (35um±10um) |
|
|
Жоғарыдағылар типтік мәндер |
|
Semicorex TaC қапталған бағыттаушы сақина, SiC (силикон карбиді) монокристалды өсіретін пештердегі инновацияның шыңы. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің талаптарын қанағаттандыру үшін мұқият әзірленген бұл бағыттаушы сақина кристалдардың өсу процестерін теңдесі жоқ дәлдік пен сенімділікпен қайта анықтауға уәде береді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex озық TaC қапталған графит қабылдағыш, вафельді эпитаксиалды процесті тиімділік пен дәлдіктің жаңа биіктеріне көтеруге арналған революциялық компонент. Теңдесі жоқ тәжірибемен жасалған және заманауи технологияны пайдалана отырып, Semicorex TaC қапталған графитті сіңіргіш жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex жоғары сапалы тантал карбидімен қапталған графит бөлшектерін теңшелген қызметпен қамтамасыз етеді. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex тантал карбидімен қапталған графит сусцепторын теңшелген қызметпен қамтамасыз етеді. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған кеуекті графит - жартылай өткізгішті өңдеуде жоғары тазалығы жоғары материал. Жабдықтың бұл маңызды бөлігі монокристалды SiC өсу процесінде шешуші рөл атқарады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуКәсіби өндіруші ретінде біз сізге TaC қапталған сақиналарды ұсынғымыз келеді. Жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған заманауи шешім CVD Tac қапталған сақинасымен таныстыру. Бұл озық өнім ерекше беріктік пен тозуға төзімділікті қамтамасыз ететін жетілдірілген химиялық бу тұндыру (CVD) жабыны бар.
Ары қарай оқуСұрау жіберу