TaC қапталған жарты ай

Semicorex TaC қапталған Halfmoon SiC эпитаксисі үшін қажетті жоғары температураларда (2200°C дейін) өзінің құрылымдық тұтастығын және химиялық инерттілігін сақтайды. Бұл тұрақты жылу өнімділігін қамтамасыз етеді және технологиялық газдармен немесе бастапқы материалдармен қажетсіз реакциялардың алдын алады. Оны  жылу өткізгіштік пен сәуле шығаруды оңтайландыру үшін жасауға болады, бұл жылуды қабылдағыш беті бойынша біркелкі бөлуге ықпал етеді. Бұл пластинаның температуралық профильдерінің біртекті болуына және эпитаксиалды қабат қалыңдығы мен қоспа концентрациясының жақсартылған біркелкілігіне әкеледі. Сонымен қатар, TaC қапталған Halfmoon термиялық кеңею коэффициенті жылыту және салқындату циклдері кезінде термиялық кернеуді барынша азайта отырып, SiC-ке сәйкес келу үшін бейімделуі мүмкін. Бұл пластинаның иілуін және ақаулардың пайда болу қаупін азайтып, құрылғының жоғары өнімділігіне ықпал етеді.

TaC жабыны бар Halfmoon графит қабылдағыштарының қызмет ету мерзімін қапталмаған/SiC жабыны бар баламалармен салыстырғанда едәуір ұзартады. SiC шөгуіне және термиялық деградацияға қарсы күшейтілген төзімділік тазалау және ауыстыру циклдарының жиілігін азайтып, жалпы өндіріс шығындарын төмендетеді.

SiC құрылғысының өнімділігінің артықшылықтары:

Жақсартылған құрылғы сенімділігі мен өнімділігі:TaC жабыны бар жарты айда өсірілген эпитаксиалды қабаттардағы жақсартылған біркелкі және төмендетілген ақау тығыздығы құрылғының жоғары өнімділігіне және бұзылу кернеуі, қосу кедергісі және ауысу жылдамдығы тұрғысынан жақсартылған өнімділікке аударылады.

Жоғары көлемді өндіріске арналған үнемді шешім:Ұзартылған қызмет мерзімі, қысқартылған техникалық қызмет көрсету талаптары және вафли сапасының жақсаруы SiC қуат құрылғыларының үнемді өндіріс процесіне ықпал етеді.

Semicorex TaC қапталған Halfmoon материалдың үйлесімділігіне, жылуды басқаруға және процестің ластануына қатысты негізгі мәселелерді шешу арқылы SiC эпитаксиясын ілгерілетуде маңызды рөл атқарады. Бұл жоғары сапалы SiC пластинкаларын өндіруге мүмкіндік береді, бұл электр көліктерінде, жаңартылатын энергия көздерінде және басқа да сұранысты қажет ететін салаларда қолдану үшін тиімдірек және сенімді қуатты электронды құрылғыларға әкеледі.