TaC жабынының графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады.
Тантал карбиді (TaC) — тантал мен көміртектен тұратын қосылыс. Оның металдық электр өткізгіштігі және ерекше жоғары балқу температурасы бар, бұл оны беріктігі, қаттылығы және ыстыққа және тозуға төзімділігімен танымал отқа төзімді керамикалық материал етеді. Тантал карбидтерінің балқу температурасы тазалығына байланысты шамамен 3880 ° C-қа жетеді және бинарлы қосылыстар арасында ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие. Бұл жоғары температура талаптары MOCVD және LPE сияқты құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды процестерінде қолданылатын өнімділік мүмкіндіктерінен асып кеткенде оны тартымды балама етеді.
Semicorex TaC Coating материалының деректері
Жобалар |
Параметрлер |
Тығыздығы |
14,3 (гм/см³) |
Эмиссивтілік |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Қаттылық (HK) |
2000 |
Қарсылық (Ом-см) |
1×10-5 |
Термиялық тұрақтылық |
<2500℃ |
Графит өлшемін өзгерту |
-10~-20um (анықтамалық мән) |
Қаптау қалыңдығы |
≥20um типтік мән (35um±10um) |
|
|
Жоғарыдағылар типтік мәндер |
|
Сапа мен өнімділіктің ең жоғары деңгейін талап ететін жартылай өткізгіш жабдықтарды өндірушілер мен пайдаланушылар үшін тамаша шешім CVD Tac қапталған тигельді таныстыру. Біздің тигельдер коррозияға және тозуға жоғары төзімділікті қамтамасыз ететін заманауи CVD Tac (тантал карбиді) қабатымен қапталған, бұл оларды әртүрлі жартылай өткізгіш қолданбаларда қолдануға өте ыңғайлы етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберу