SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбиді материалы кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, соның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділікті, тамаша тозуға төзімділікті, сондай-ақ жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті арттыруға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік және қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Мәндер |
Құрылымы |
|
FCC β фазасы |
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор – бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
Вафельді өңдеуге арналған Semicorex компаниясының PSS Эттинг тасымалдаушы науасы эпитаксистік жабдықты қажет ететін қолданбалар үшін арнайы жасалған. Біздің ультра таза графит тасығышымыз MOCVD, эпитаксистік қабылдағыштар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары және ою сияқты вафельді өңдеу үшін өте қолайлы. Вафельді өңдеуге арналған PSS Эттинг тасымалдаушы науасы жоғары жылу мен коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Біздің өнімдер үнемді және жақсы баға артықшылығы бар. Біз көптеген еуропалық және американдық нарықтарға қызмет көрсетеміз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex-те біз эпитаксиалды өсу және пластинаны өңдеу процестері үшін қажет қатал орталар үшін арнайы жарықдиодты жарықдиодқа арналған PSS Эттинг тасымалдаушы науасын әзірледік. Біздің ультра таза графит тасымалдағышымыз MOCVD, эпитаксистік қабылдағыштар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары және ою сияқты вафельді өңдеу үшін өте қолайлы. SiC жабыны бар тасымалдаушы жоғары жылу және коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Жарық диодқа арналған PSS сызу тасушы науасы үнемді және жақсы баға артықшылығын ұсынады. Біз көптеген еуропалық және американдық нарықтарға қызмет көрсетеміз және Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуЖартылай өткізгіштерге арналған Semicorex PSS Эттинг тасымалдаушы пластина эпитаксиалды өсу және пластинаны өңдеу процестері үшін қажет жоғары температура мен қатал химиялық тазалау орталары үшін арнайы әзірленген. Жартылай өткізгіштерге арналған ультра таза PSS Эттинг тасымалдаушы пластинамыз MOCVD және эпитаксистік сенсорлар, құймақ немесе спутниктік платформалар сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары кезінде пластиналарды қолдауға арналған. Біздің SiC жабыны бар тасымалдағышымыз жоғары жылу және коррозияға төзімділікке, тамаша жылу тарату қасиеттеріне және жоғары жылу өткізгіштікке ие. Біз өз тұтынушыларымызға үнемді шешімдерді ұсынамыз және біздің өнімдер көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Semicorex сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуЭпиксиалды өсуде және вафельді өңдеуде қолданылатын вафельді тасымалдаушылар жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төтеп беруі керек. Semicorex SiC қапталған PSS Эттинг тасымалдаушысы осы күрделі эпитаксистік жабдықты қолдану үшін арнайы әзірленген. Біздің өнімдер жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуLPE эпитаксиалды өсуге арналған Semicorex SiC қапталған бөшкелік сусептор ұзақ уақыт бойы тұрақты және сенімді өнімділікті қамтамасыз етуге арналған жоғары өнімді өнім болып табылады. Оның біркелкі термиялық профилі, ламинарлы газ ағынының үлгісі және ластануды болдырмау оны вафли чиптеріндегі жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттардың өсуі үшін тамаша таңдау жасайды. Оның теңшеу мүмкіндігі мен үнемділігі оны нарықта жоғары бәсекеге қабілетті өнімге айналдырады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Barrel Susceptor Epi System - бұл жабынның жоғары адгезиясын, жоғары тазалығын және жоғары температурада тотығуға төзімділігін ұсынатын жоғары сапалы өнім. Оның біркелкі жылу профилі, ламинарлы газ ағынының үлгісі және ластануды болдырмау оны вафли чиптеріндегі эпиксиалды қабаттардың өсуі үшін тамаша таңдау жасайды. Оның үнемділігі мен теңшеу мүмкіндігі оны нарықта жоғары бәсекеге қабілетті өнімге айналдырады.
Ары қарай оқуСұрау жіберу