SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбиді материалы кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, соның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділікті, тамаша тозуға төзімділікті, сондай-ақ жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті арттыруға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік және қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Мәндер |
Құрылымы |
|
FCC β фазасы |
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор – бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
Subicorex - бұл сенімді жеткізуші және MOCVD үшін кремний карбидінің графиттік гипсептінің өндірушісі. Біздің өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің вафли чипіндегі эпитаксиалды қабатты өсіру қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Өнім MOCVD-де тісті доңғалақ немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Ол жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие, бұл оны төтенше ортада пайдалану үшін өте қолайлы етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex - SiC қапталған MOCVD графит спутниктік платформасының беделді жеткізушісі және өндірушісі. Біздің өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің вафли чипіндегі эпитаксиалды қабатты өсіру қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Өнім MOCVD-де тісті доңғалақ немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Ол жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие, бұл оны төтенше ортада пайдалану үшін өте қолайлы етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex - бұл вафельді эпитаксияға арналған жоғары сапалы MOCVD қақпақшасының жұлдызды дискі тақтасының әйгілі өндірушісі және жеткізушісі. Біздің өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін, әсіресе пластинаның эпитаксиалды қабатын өсіру үшін арнайы әзірленген. Біздің қабылдағыш MOCVD-де тісті немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Өнім жоғары ыстыққа және коррозияға өте төзімді, бұл оны төтенше ортада пайдалану үшін өте қолайлы етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex - эпитаксиалды өсуге арналған MOCVD сусепторының жетекші жеткізушісі және өндірушісі. Біздің өнім жартылай өткізгіш салаларда, әсіресе пластинкадағы эпитаксиалды қабаттың өсуінде кеңінен қолданылады. Біздің қабылдағыш MOCVD-де тісті немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдалануға арналған. Өнімнің жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділігі бар, бұл оны төтенше ортада тұрақты етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex - SiC қапталған MOCVD сусепторының жетекші өндірушісі және жеткізушісі. Біздің өнім пластинкадағы эпитаксиалды қабатты өсіру үшін жартылай өткізгіш өнеркәсіптерге арнайы әзірленген. Жоғары тазалықтағы кремний карбидімен қапталған графит тасымалдағышы MOCVD-де тісті немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Біздің қабылдағышымыз MOCVD жабдығында кеңінен қолданылады, бұл жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті және төтенше ортада үлкен тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex - Қытайдағы кремний карбидімен қапталған графит сусцепторының ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. MOCVD-ге арналған SiC қапталған графит сусцепторы жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу