SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбидті материал кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, оның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, сондай-ақ жылу өткізгіштік.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті жақсартуға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік пен қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Құндылықтар |
Құрылым |
|
FCC β фазасы |
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор - бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
Жоғары балқу температурасымен, тотығуға төзімділігімен және коррозияға төзімділігімен Semicorex SiC-жабылған LPE Crystal Growth Susceptor монокристалды өсу қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны тамаша тегістік пен жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары температуралы орталар үшін тамаша таңдау жасайды.
Ары қарай оқуСұрау жіберуЕгер сізге ең талап етілетін жоғары температура мен коррозиялық орталарда да сенімді және дәйекті жұмыс істей алатын графит қабылдағыш қажет болса, сұйық фазалық эпитаксияға арналған Semicorex баррельді қабылдағыш тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны тамаша жылу өткізгіштік пен жылуды бөлуді қамтамасыз етеді, жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбаларында ерекше өнімділікті қамтамасыз етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex кремний карбидпен қапталған графит бөшкелері жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті қажет ететін жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбалары үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның ерекше жылу өткізгіштігі және жылу тарату қасиеттері оны LPE процестерінде және басқа жоғары температуралы орталарда пайдалану үшін өте қолайлы етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуТамаша тығыздығы мен жылу өткізгіштігімен LPE үшін Semicorex Dayanaklı SiC-қапталған бөшкелік сусептор LPE процестерінде және жартылай өткізгіштерді өндірудің басқа қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны жоғары қорғаныс және жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, бұл оны сенімді және дәйекті нәтижелер алу үшін таңдаулы етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуЖартылай өткізгішті өндіруге келетін болсақ, Semicorex жоғары температуралы SiC-қапталған бөшкелік сусептор жоғары өнімділік пен сенімділік үшін ең жақсы таңдау болып табылады. Оның жоғары сапалы SiC жабыны және ерекше жылу өткізгіштігі оны тіпті ең талап етілетін жоғары температура мен коррозиялық орталарда қолдануға өте ыңғайлы етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуЖоғары балқу температурасымен, тотығуға төзімділігімен және коррозияға төзімділігімен, LPE өсуіне арналған Semicorex SiC-қапталған бөшкелік сусцептор монокристалды өсіру қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбидті жабыны ерекше тегістік пен жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, тіпті ең талап етілетін жоғары температуралы орталарда сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберу