Қабылдағыш тақтасы

Semicorex Susceptor Plate - эпитаксиалды өсу процесінің маңызды құрамдас бөлігі, жұқа қабықшалар немесе қабаттар тұндыру кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды тасымалдау үшін арнайы әзірленген. Металл-органикалық химиялық булардың тұндыру (MOCVD) контекстінде бұл плиталар әсіресе жоғары температураға төтеп бере алатын және эпитаксиалды қабаттардың өсуі үшін тұрақты бетті қамтамасыз ететін материалдардан жасалған.

Бұл процесте қолданылатын Суцептор тақтасы MOCVD процесінің өзі арқылы кремний карбидімен (SiC) қапталған графиттен жасалған. Кремний карбиді ерекше термиялық тұрақтылықты, механикалық беріктікті және химиялық реакцияларға төзімділікті ұсынады, бұл оны эпитаксиалды өсудің қиын жағдайлары үшін тамаша таңдау жасайды.

MOCVD кезінде Суцептор тақтасы жартылай өткізгіш пластинкаларға жылуды тиімді беру арқылы шешуші рөл атқарады. Пластина қоршаған ортадан энергияны сіңіреді және оны пластинкаларға қарай сәулелендіреді, бұл жұқа қабықшалардың вафли беттеріне бақыланатын тұндырылуын жеңілдетеді. Бұл температураны дәл бақылау жетілдірілген жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде шешуші маңызы бар біркелкі және жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттарға қол жеткізу үшін өте маңызды.

SiC қапталған графиттен тұратын MOCVD процестеріндегі Сусептор тақтасы жартылай өткізгіш пластиналарды қолдауға, оңтайлы жылу беруді қамтамасыз етуге және жартылай өткізгішті қолдану үшін қажетті сипаттамалары бар жұқа қабықшалардың сәтті эпитаксиалды өсуіне ықпал ететін сенімді платформа ретінде қызмет етеді.