Торлы қабылдағыш

Semicorex Susceptor with Grid – жартылай өткізгіш пластинкалардың эпитаксиалды өсу процесінде қолданылатын арнайы компонент. Бұл маңызды жабдық металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) жүйесінде материалдарды тұндыру кезінде пластиналарды тасымалдауға және қолдауға арналған. Торлы қабылдағыш жартылай өткізгіш пластинкадағы эпитаксиалды қабаттардың біркелкі және бақыланатын өсуін қамтамасыз етуде шешуші рөл атқарады.

Торлы қабылдағыш оның қызметі үшін оңтайландырылған материалдардан жасалған. Бұл жағдайда ол MOCVD SiC (металл-органикалық химиялық булардың тұндыру кремний карбиді) қапталған графиттен жасалған. Материалдардың мұндай таңдауы жоғары температураға төзімділік, химиялық тұрақтылық және тамаша жылу өткізгіштік сияқты бірнеше артықшылықтарды қамтамасыз етеді. Графиттегі SiC жабыны эпитаксиалды өсу процесінде кездесетін ауыр жағдайларға сезімталдық пен төзімділікті арттырады.

Тор құрылымы бар қабылдағыш жартылай өткізгіш пластиналар үшін қолдау механизмі ретінде қызмет етеді. Ол газдардың тиімді ағынына және материалдардың біркелкі тұндырылуына мүмкіндік бере отырып, пластиналарды қауіпсіз жерде ұстау үшін стратегиялық түрде жасалған. Тор үлгісі эпитаксиалды қабаттың қалыңдығы мен құрамын дәл бақылауға ықпал ете отырып, жылу мен реактивтерді пластинаның беті бойынша біркелкі таратуға көмектеседі.

Торлы Semicorex Susceptor жетілдірілген жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру процесінде маңызды құрамдас болып табылады. Оның берік конструкциясы мен арнайы дизайны оны жоғары сапалы эпитаксиалды өсуге қол жеткізудің маңызды құралына айналдырады, жоғары өнімділік пен сенімділікпен жартылай өткізгіштерді өндіруді қамтамасыз етеді.