Технологиялық түйіндердің қысқаруын жалғастыратындықтан, өте таяз түйіспелердің қалыптасуы айтарлықтай қиындықтар тудырады. Жылдам термиялық күйдіру (RTA) және жарқыл шамымен жасыту (FLA) сияқты термиялық күйдіру процестері диффузияны азайтып, құрылғының оңтайлы өнімділігін қамтамасыз ететін қоспала......
Ары қарай оқуЖартылай өткізгішті өндіруде ою процесінің дәлдігі мен тұрақтылығы маңызды. Жоғары сапалы оюға қол жеткізудің маңызды факторларының бірі - процесс кезінде пластинаның науаға мінсіз тегіс болуын қамтамасыз ету. Кез келген ауытқу біркелкі емес иондық бомбалауды тудыруы мүмкін, бұл жағымсыз бұрыштар ме......
Ары қарай оқуЖартылай өткізгішті жұқа қабықшаны тұндыру процесі қазіргі заманғы микроэлектроника технологиясының маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Ол жартылай өткізгіш негізге материалдың бір немесе бірнеше жұқа қабаттарын қою арқылы күрделі интегралды схемаларды құруды қамтиды.
Ары қарай оқуКремний карбиді (SiC) - бұл жоғары вольтты және жоғары температуралық қолданбалардағы ерекше өнімділігінің арқасында соңғы жылдары айтарлықтай назар аударған кең жолақты жартылай өткізгіш материал. Бұл зерттеу модификацияланған процесс жағдайларын пайдаланып өсірілген SiC кристалдарының әртүрлі сипа......
Ары қарай оқу