Жартылай өткізгіштегі алюминий тотығы керамикалық құрамдастардың негізгі қолданбалары

Жартылай өткізгіштердің жаһандық өндірістік қуатының үздіксіз кеңеюі және өндірістік процестердің үздіксіз алға жылжуының аясында жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған жабдық қазір оның негізгі құрамдас бөліктерінен бұрын-соңды болмаған өнімділікті талап етеді. Вафельді өңдеу кезінде жабдық камераларының ішкі бөлігі жоғары энергиялы плазмалық бомбалауды, коррозиялық газ эрозиясын, температураның шектен тыс ауытқуын және тазалықты қатаң бақылауды қоса алғанда, көптеген қатал жұмыс жағдайларына ұшырайды. Дәстүрлі металл және органикалық материалдар енді коррозияға төзімділік, жоғары температураға төзімділік, жоғары оқшаулау және төмен ластану сияқты қасиеттердің біріктірілген жиынтығын бере алмайды.

Жартылай өткізгішті қолдану үшін алдыңғы қатарлы жетілдірілген керамика ретінде алюминий тотығы керамика құны, өңдеу мүмкіндігі және жалпы өнімділік арасындағы оңтайлы тепе-теңдікті сақтайды. Жоғары қаттылықпен, тамаша оқшаулаумен, тамаша коррозияға төзімділігімен және төмен термиялық кеңеюімен ерекшеленеді, олар жартылай өткізгішті орау және дайындау жабдықтарындағы үлкен өлшемді және жоғары берік компоненттерге қойылатын қатаң талаптарды толығымен қанағаттандырады және өнеркәсіпте таптырмас құрылымдық материалдарға айналды.

Жартылай өткізгіштегі алюминий тотығы керамикалық құрамдастардың негізгі қолданбалары

1. Литографиялық жабдықтағы қолданбалар

Литография - жартылай өткізгіштерді өндірудегі ең күрделі процестердің бірі, ол қозғалыстың орналасуының дәлдігі мен тазалығы үшін өте қатаң стандарттарды жүктейді. Алюминий тотығы керамика вафельді патрондар, керамикалық сатылар, дәлдік үшін кеңінен қолданыладықаруды ұстаужәне басқа да негізгі бөліктер.

Вафельді тасымалдау үшін алюминий тотығы керамика роботтық қаруларды жасау үшін қабылданады. Кремний карбиді керамика теориялық тұрғыдан мұндай құрамдас бөліктер үшін өте қолайлы болғанымен, глиноземді керамикалық тұтқалар төменірек материал шығындары мен жеңіл өңдеудің арқасында жоғары үнемділік береді. Вафельді жылтырату процестерінде глиноземді керамика жылтырату тақталарына, кондиционер платформаларына жәневакуумдық патронс.

Литография кезеңдерінің және пластинаны тасымалдау жүйелерінің орналасу дәлдігі қабаттасудың дәлдігі мен өнім шығымына тікелей әсер етеді. Жоғары қаттылығы, төмен термиялық кеңеюі және тамаша дірілге төзімділігі арқасында алюминий тотығы керамика қозғалыс жүйелеріне жоғары жылдамдықта ұзақ мерзімді жоғары дәлдікпен жұмыс істеуге көмектеседі. Сонымен қатар, материал таза бөлменің қатаң талаптарын қанағаттандырады, оның ішінде бөлшектерсіз өнімділік, магнетизм және газдың төмен шығуы.

2. Эттинг жабдығындағы қолданбалар

Этчинг - бұл жартылай өткізгішті өндірудің негізгі процесі, мұнда жоғары энергиялы плазма вафли беттеріндегі белгіленген аймақтардан материалды таңдап алып тастайды. Иондалған галоген және инертті газдар арқылы пайда болған плазма тек пластинкаларға әсер етіп қана қоймайды, сонымен қатар камера қабырғалары мен маңызды компоненттерінің үздіксіз физикалық және химиялық эрозиясын тудырады. Бұл екі негізгі мәселеге әкеледі: эрозияға ұшыраған бөліктер пластинкаларға жабысып, чиптің қысқа тұйықталуын тудыруы мүмкін ауадағы бөлшектерді шығарады; сонымен қатар бөлшектердің тозуы жабдықтың ескіруін тездетеді және қызмет ету мерзімін қысқартады.

Глинозем (Al₂O₃) жоғары диэлектрлік беріктігімен және жоғары химиялық төзімділігімен мақтана отырып, қарқынды плазмалық әсерде тұрақты өнімділікті сақтайды. Бұл плазмалық өрнектен қорғау үшін ең көп қолданылатын материалдардың бірі. Жоғары таза глиноземді жабындар және қатты глинозем керамика әдетте ою камералары мен ішкі компоненттерді қорғау үшін қолданылады. Камералық құрылымдардан басқа, газ үшін алюминий тотығы керамика да қабылданадысаптамалар, плазмалық өңдеу жабдығындағы газ тарату пластиналары мен пластинаны ұстау сақиналары.

3. CMP жабдықтарындағы қолданбалар

Химиялық механикалық жылтыратуда (CMP) суспензиядағы абразивті бөлшектер тұрақты үйкеліс пен тозуды тудырады.жылтырату тақталарыжәне кезеңдері. Ерекше қаттылығы мен тозуға төзімділігін ескере отырып, алюминий тотығы керамика керамикалық жылтырату үстелдері, жылтырату тақталары, сырлау тақталары және соңғы эффекторлар үшін кеңінен қолданылады.

Глиноземді жылтырату үстелдерінің керемет бетінің қаттылығы вафлилердің үлкен партияларын өңдегеннен кейін дәйекті тегістікті қамтамасыз етеді, бұл чип бетінің тегістігін дәл бақылау үшін өте маңызды.

4. Жартылай өткізгішті қаптамадағы қолданулар

Жартылай өткізгішті қаптамада алюминий тотығы керамика орауыш субстраттарға, жылу қабылдағыштарға және жоғары қуатты электронды құрылғыларға арналған негізгі тақталарға кеңінен шығарылады. Алюминий тотығы тізбегінің астарлары тамаша оқшаулауды, лайықты жылу өткізгіштігін, төмен жылу кеңею коэффициентін және жоғары механикалық беріктікті ұсынады, бұл оларды электронды қаптаманың негізгі таңдауына айналдырады. Жалаңаш чипті қаптамаға арналған алюминий тотығы компоненттері жоғары температурада да тамаша герметикалық қасиетке ие және вакуумды электронды орталарда кеңінен қолданылады.

Сонымен қатар, алюминий тотығы керамикалық бөлшектер жартылай өткізгішті артқы жабдықтың негізгі құрамдас бөліктері ретінде қызмет етеді, мысалы, сымдарды байланыстыру машиналарына арналған керамикалық капиллярлар, керамикалық саптамалар және сынақ өңдеушілерге арналған зонд карталары, олардың барлығы өте жоғары дәлдікті, үлкен тозуға төзімділікті және сенімді электр оқшаулауын қажет етеді.