Кремний карбидті вафельді қайықтар қаншалықты маңызды?

Жартылай өткізгіштерді өндіруде фотолитография және сызу сияқты негізгі технологиялық жабдықтан басқа, іргелі құрамдас бөліктің басқа түрі процестің тұрақтылығында шешуші рөл атқарады:вафельді қайық.

Әсіресе соңғы жылдары жоғары температуралық процестер мен үшінші буын жартылай өткізгіштердің дамуымен кремний карбидінен жасалған кремний карбидті пластиналар тыныш салалық стандартқа айналуда.

Сонымен, жартылай өткізгіштерді өндіруде бұл елеусіз болып көрінетін компонент қандай рөл атқарады?

01 Вафельді қайықтың негізгі функциялары

Вафельді қайық - бұл негізінен жоғары температуралы өңдеу жабдықтарында қолданылатын вафлиді ұстау үшін қолданылатын технологиялық тасымалдаушы.

Жартылай өткізгішті өндіру процесінде пластиналар диффузия, тотығу, күйдіру және химиялық буларды тұндыру (CVD) сияқты бірнеше термиялық өңдеу қадамдарынан өтеді. Бұл процестер кезінде пластиналар әдетте пеш түтік жабдығына пакеттік түрде өңделеді және вафельді қайық келесі функцияларды орындайды:

- Бірнеше вафлиді қолдау және тұрақты аралықты сақтау

- жоғары температуралы ортада пластинаның позициялық тұрақтылығын қамтамасыз ету

- Жабдықпен бірге біркелкі газ ағынын қамтамасыз ету

Вафельді қайықтың құрылымы мен материал қасиеттері жылу өрісінің таралуына және процестің консистенциясына тікелей әсер етеді.

02 Кремний карбиді қайықтардың құрылымдық сипаттамалары

Кремний карбидті қайықтарәдетте жоғары құрылымдық тұрақтылықты ұсынатын жақтау дизайнын қолданады. Типтік ерекшеліктерге мыналар жатады:

- Вафлиді дәл орналастыру үшін көп қабатты ұяшық құрылымы

- Вафельдер арасында оңай газ ағыны үшін ашық дизайн

- Жоғары температура кезінде деформация қаупін азайту үшін қаттылығы жоғары жақтау

Жабдық түріне байланысты қайықтар тік немесе көлденең құрылымдар ретінде жобалануы мүмкін және әртүрлі вафли өлшемдерін (мысалы, 6 дюйм, 8 дюйм, 12 дюйм) қолдайды.

03 Материалды таңдау: НеліктенКремний карбиді?

Жартылай өткізгіш процестер жоғары температура мен жоғары тазалыққа қарай дамып келе жатқанда, кварц және алюминий тотығы сияқты дәстүрлі материалдар барған сайын жеткіліксіз. Керісінше, кремний карбиді бірнеше өнімділік өлшемдерінде артықшылықтар ұсынады.

1. Жоғары температураға төзімділік: кремний карбиді шамамен 1200℃ және 1400℃ температура диапазонында жақсы құрылымдық тұрақтылықты көрсетеді. Белгілі бір жоғары тазалықта немесе арнайы технологиялық жағдайларда оны одан да жоғары температуралық орталарда пайдалануға болады. Ол жоғары температурада металдық материалдарға ұқсас балқу немесе айтарлықтай жұмсарту құбылыстарын көрсетпейді.

2. Жоғары жылу өткізгіштік: кремний карбиді жоғары жылу өткізгіштікке ие, бұл пластиналар арасындағы температура айырмашылығын азайтуға көмектеседі, осылайша процестің консистенциясын жақсартады.

3. Термиялық кеңеюдің төмен коэффициенті: кремний карбидінің жылулық кеңею коэффициенті төмен, бұл қыздыру және салқындату процестері кезінде пластинкаларға термиялық кернеудің әсерін азайтады.

4. Химиялық тұрақтылық: кремний карбиді әртүрлі атмосферада, соның ішінде тотықтырғыш және қалпына келтіретін атмосферада жақсы химиялық тұрақтылық көрсетеді. Дегенмен, ол әлі де жоғары температуралы оттегі ортасында кремний диоксиді қорғаныс қабатын құра отырып, баяу тотығу реакциясынан өтеді.

5. Материалдың тазалығын және ластануын бақылау: Жартылай өткізгіштегі кремний карбидінің әдетте вафли бетіндегі ластану қаупін азайту үшін қатаң бақыланатын қоспа құрамы бар. Әртүрлі технологиялық дәрежелерде қолданылатын материалдар арасында айтарлықтай айырмашылықтар бар.

04 Қолдану аймақтары

Кремний карбидті қайықтар қазіргі уақытта көптеген салаларда кеңінен қолданылады, соның ішінде:

- Интегралдық схемаларды өндіруде термиялық өңдеу

- Қуатты жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру (мысалы, SiC құрылғылары)

- фотоэлектрлік кремний пластинкаларын жоғары температурада өңдеу

- Жартылай өткізгіш материал және технологиялық зерттеулер мен әзірлемелер

Оның артықшылықтары жоғары температураны, күшті коррозияны немесе жоғары тазалықты қажет ететін сценарийлерде одан да айқын көрінеді.

Semicorex ұсынадыSiC вафельді қайықтар, пеш түтіктері, консольдық қалақшалар, жоғары температуралы пештерде т.б. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com