Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде эпитаксиалды қабаттар эпитаксиалды пластиналар деп аталатын пластиналық субстрат үстінде арнайы бір кристалды жұқа қабықшаларды қалыптастыру арқылы шешуші рөл атқарады. Атап айтқанда, SiC өткізгіш субстраттарда өсірілген кремний карбиді (SiC) эпитаксиалды қабаттары......
Ары қарай оқуҚазіргі уақытта SiC субстрат өндірушілерінің көпшілігі кеуекті графит цилиндрлері бар жаңа тигельдің жылу өрісінің технологиялық дизайнын пайдаланады: графит тигель қабырғасы мен кеуекті графит цилиндрі арасында жоғары таза SiC бөлшектерінің шикізатын орналастыру, сонымен бірге тигельді тереңдету жә......
Ары қарай оқуЭпитаксиалды өсу субстратта кристаллографиялық реттелген монокристалды қабаттың өсу процесін білдіреді. Жалпы айтқанда, эпитаксиалды өсу бір кристалды субстраттағы кристалдық қабатты өсіруді қамтиды, өсірілген қабат бастапқы субстрат сияқты бірдей кристаллографиялық бағдарды бөліседі. Эпитаксия жарт......
Ары қарай оқуХимиялық буларды тұндыру (CVD) әртүрлі парциалды қысымдардағы бірнеше газ тәрізді реактивтер белгілі бір температура мен қысым жағдайында химиялық реакцияға түсетін технологиялық технологияны білдіреді. Алынған қатты зат субстрат материалының бетіне шөгеді, осылайша қажетті жұқа пленканы алады. Дәст......
Ары қарай оқу