Вакуумдық патрондар мен электростатикалық патрондар арасындағы айырмашылықтар

Жартылай өткізгішті өндірудегі таптырмас негізгі буын ретінде пластинаны ұстау технологиясының тұрақтылығы мен дәлдігі чип өндірісінің тиімділігіне және дайын құрылғының сапасына тікелей әсер етеді. Вакуумдық патрондар және электростатикалық патрондар жартылай өткізгішті өндіруге арналған пластинаны ұстайтын екі негізгі шешім болып табылады. Екеуі де вафельді патрондарға тиесілі болса да, олар құрылымы, өнімділік сипаттамалары және қолданылатын сценарийлері бойынша айтарлықтай ерекшеленеді.

1. Әртүрлі жұмыс принциптері

Вакуумдық патрондарвафельді орнында ұстау үшін теріс қысымға сүйеніңіз. Ауа вакуумдық сорғыға жалғанған құбырлар арқылы шығарылады, бұл пластинаның астында теріс қысымды қалыптастырып, пластиналарды немесе астарларды патрон бетіне мықтап бекітеді. Чактың негізі керамикадан немесе металдан дәлме-дәл өңделген және оның адсорбциялық беті негіздегі қарсы ойыққа орнатылған, шеттері негізге бекітілген және тығыздалған кеуекті керамикалық пластинадан тұрады.  Керамикалық пластинаның ішкі микрокеуекті арналары арқылы вакуумдық сорғыға қосылған патрон атмосфералық қысымнан әлдеқайда төмен вакуумдық аймақты жасайды, осылайша пластинаны мықтап бекітеді.

Электростатикалық патрондар жоғары өнімді керамикалық диэлектрлік қабатпен жабылған металл негіздің ішіне енгізілген электродтары бар өзек құрылымын қабылдайды. Олар дайындамалардағы электр зарядтарын индукциялау үшін олардың бетінде электростатикалық өріс жасайды, пластиналарды немесе астарларды қысу үшін электростатикалық тартылыс жасайды. Кернеу қолданылған кезде электродтар, керамикалық диэлектрик және арасында күшті электростатикалық өріс пайда боладывафли, тұрақты пластинаны бекіту үшін бірнеше мыңнан он мыңдаған Паскальға дейінгі ұстау күшін береді.

2. Әртүрлі өнімділік артықшылықтары

Вакуумдық патрондар әртүрлі өлшемдегі пластиналармен және әртүрлі технологиялық жұмыс процестерімен үйлесімді, өңдеу кезінде пластиналарды тұрақты бекітуді қамтамасыз етеді. Электростатикалық патрондармен салыстырғанда, олардың салыстырмалы түрде қарапайым ішкі құрылымдарының арқасында өндіріс пен техникалық қызмет көрсету шығындары төмен.

Дегенмен, пластиналар вакуумда немесе төмен қысымды ортада жұмыс істеуді қажет ететін процестерден өткенде, мысалы, химиялық булардың тұндыруында, қысым айырмашылығына негізделген вакуумдық патрондар технологиялық талаптарды қанағаттандыра алмайды. Сонымен қатар, пластиналар вакуумдық патрондармен орнында ұсталғанда, ауа қысымы пластинаның деформациялануын тудыруы мүмкін, бұл өңдеуден кейін қайта көтерілуге ​​әкеледі. Бұл өңделген пластинада толқынды бетке, нашар тегістікке және өңдеу дәлдігінің төмендеуіне әкелуі мүмкін.

Электростатикалық патрондартұрақты, біркелкі бөлінген қысу күшін ұсына отырып, контактісіз адсорбцияны қабылдаңыз. Бұл пластинаның деформациясын, бұрмалануын және зақымдалуын тиімді болдырмайды, жоғары өңдеу дәлдігі үшін тамаша тегістікті сақтайды. Температураны біркелкі бөлу үшін гелийдің артқы жағындағы салқындатқышпен жабдықталған электростатикалық патрондар пластинаның температурасын дәл реттеуді қолдайды.

Кемшілігі электростатикалық патрондар бетінің тегістігі, тегістігі және микрон масштабты микроқұрылымдары үшін өте қатаң стандарттары бар күрделі құрылымдарға ие. Микрофункциялар үшін микрон деңгейіндегі дәлдік шикізатты құрастыруда, агломерациялауда және бетті өңдеуде жоғары техникалық кедергілер жасайды. Температураны бақылау негізгі техникалық мәселе болып қала береді; Алюминий нитриді (AlN) диэлектрлік ESC жылуды жоғарылату үшін одан да күрделі өндірістік процестерді қамтиды. Қатаң көп өлшемді техникалық талаптар өнімнің бағасын көтереді және тұрақты жұмысты қамтамасыз ету үшін электростатикалық жүйелерді үнемі тексеру және техникалық қызмет көрсету міндетті болып табылады.

3. Әртүрлі негізгі қолданба өрістері

Жоғары тегістігі, жоғары параллелизмі, тығыз біркелкі құрылымы, жоғары механикалық беріктігі, біркелкі ауа өткізгіштігі және оңай қалпына келтіруі бар вакуумдық патрондар металл парақтар мен пластикалық негіздер сияқты тегіс, жақсы тығыздалған дайындамаларды бекіту және тасымалдау үшін қолданылады. Жартылай өткізгіштер өндірісінде олар вафлиді жұқарту, текшелерге кесу, ұнтақтау, тазалау және басқа да пластиналарды өңдеу процестеріне қызмет етеді, бұл жалпы мәселелерді, соның ішінде вафли шегіністерін, чиптердің электростатикалық бұзылуын және бөлшектердің ластануын тиімді шешеді.

Жалпақ, ток өткізбейтін дайындамаларға арналған электростатикалық патрондар вакуумдық және плазмалық орталарға арналған өте таза пластиналар болып табылады. Олар плазмалық және вакуумдық жартылай өткізгіш процестерде кеңінен қолданылады, соның ішінде құрғақ ою, PECVD, термиялық CVD, будың физикалық тұндыру (PVD), иондық имплантация және экстремалды ультракүлгін литография (EUVL).