MOCVD үшін вафельді тасымалдаушы

MOCVD үшін Semicorex вафельді тасымалдаушы, Металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) дәл қажеттіліктері үшін жасалған, жоғары масштабты интегралды схемалар үшін бір кристалды Si немесе SiC өңдеуде таптырмас құрал ретінде пайда болады. MOCVD композициясына арналған вафельді тасымалдаушы теңдесі жоқ тазалыққа, жоғары температураға және коррозиялық ортаға төзімділікке және таза атмосфераны сақтау үшін жоғары тығыздау қасиеттеріне ие. Біз Semicorex компаниясында сапаны үнемділікпен біріктіретін MOCVD үшін өнімділігі жоғары вафельді тасымалдаушыларды өндіруге және жеткізуге бағытталғанбыз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

MOCVD қолданбаларына арналған MOCVD жетілдірілген дизайнына арналған Semicorex вафли тасымалдаушысы жартылай өткізгіш пластиналарды бесікке салу үшін арнайы жасалған қауіпсіз негіз ретінде әрекет етеді. Ол материалды біркелкі қабаттау үшін газдарды оңтайлы бөлуді жеңілдетумен қатар пластиналарды қатты ұстауды қамтамасыз ететін оңтайландырылған дизайнды ұсынады. Химиялық буларды тұндыру (CVD) арқылы кремний карбиді (SiC) жабыны бар MOCVD үшін вафельді тасымалдаушы графиттің серпімділігін CVD SiC атрибуттарымен жоғары температураға төзімділікпен біріктіреді, шамалы термиялық кеңею коэффициентіне ие және жылуды теңестіреді. Бұл тепе-теңдік пластиналар бетінің температурасының тұтастығын сақтауда өте маңызды.

Коррозияны тежеу, химиялық төзімділік және тиісінше ұзартылған қызмет ету мерзімі сияқты атрибуттары бар, MOCVD үшін вафельді тасымалдаушы пластинаның калибрін де, шығымдылығын да айтарлықтай арттырады. Оның ұзақ мерзімділігі тікелей экономикалық пайда әкеледі, бұл MOCVD үшін вафельді тасымалдаушыны жартылай өткізгіштерді өндіру операциялары үшін сатып алудың дұрыс таңдауы ретінде орналастырады.

Вафлидің эпитаксиалды процедураларына мұқият бейімделген, MOCVD-ге арналған Semicorex вафельді тасымалдаушысы жоғары температуралы пештерде пластиналарды қауіпсіз тасымалдауда керемет. Оның ұзаққа созылатын қаңқасы пластинкалардың бүлінбеуін қамтамасыз етеді, осылайша эпитаксиалды өсудің маңызды кезеңдерінде зақымдануды азайтады.**