Кремний карбиді эпитаксиді рецептор

Semicorex - Қытайдағы кремний карбиді эпитаксистік сусцептордың ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. Біздің өнімдеріміз жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Semicorex компаниясы графиттің, керамиканың және кремний карбиді эпитаксиді қабылдағыш сияқты басқа материалдардың бетінде CVD әдісімен SiC жабыны процесін қамтамасыз етеді, осылайша құрамында көміртегі мен кремний бар арнайы газдар жоғары тазалықтағы SiC молекулаларын, молекулаларды алу үшін жоғары температурада әрекеттеседі. SIC қорғаныс қабатын құрайтын қапталған материалдардың беті. Түзілген SIC графит негізіне мықтап жабысып, графит негізіне ерекше қасиеттер береді, осылайша графиттің бетін ықшам, кеуектіліксіз, жоғары температураға төзімді, коррозияға және тотығуға төзімді етеді.
Біздің кремний карбидті эпитаксистік қабылдағышымыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ең жақсы ламинарлы газ ағынының үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафли чипіндегі жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.
Кремний карбиді эпитаксистік сусцептор туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Кремний карбидінің эпитаксиді қабылдағышының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Кремний карбиді эпитаксистік сусцептордың ерекшеліктері

- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.