Semicorex - Қытайдағы кремний карбиді эпитаксистік сусцептордың ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. Біздің өнімдеріміз жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Semicorex компаниясы графиттің, керамиканың және кремний карбиді эпитаксистік қабылдағыш сияқты басқа материалдардың бетінде CVD әдісімен SiC жабыны процесін қамтамасыз етеді, осылайша құрамында көміртегі мен кремний бар арнайы газдар жоғары тазалықтағы SiC молекулаларын, молекулаларды алу үшін жоғары температурада әрекеттеседі. SIC қорғаныс қабатын құрайтын қапталған материалдардың беті. Түзілген SIC графит негізіне мықтап жабысып, графит негізіне ерекше қасиеттер береді, осылайша графиттің бетін ықшам, кеуектіліксіз, жоғары температураға төзімді, коррозияға және тотығуға төзімді етеді.
Біздің кремний карбидті эпитаксистік қабылдағышымыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафли чипіндегі жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.
Кремний карбидті эпитаксистік сусцептор туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Кремний карбиді эпитаксистік сусцептордың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Кремний карбиді эпитаксистік сусцептордың ерекшеліктері
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.