Қытай Мамандығы графит Өндірушілер, Жабдықтаушылар, Зауыт

Мамандық графит - бұл өңделген жасанды графиттің бір түрі. Бұл жартылай өткізгіш пен фотоэлектрлік өндіріс процесінің барлық аспектілерінде, оның ішінде кристалды өсу, ион имплантациясы, эпитакси және т.б. сәйкес келетін маңызды материал.

1. Кремний карбиді (SIC) кристалды өсу

Силикон Карбид, үшінші буын жартылай өткізгіш материалы ретінде жаңа энергетикалық көліктерде, 5G коммуникацияларында және басқа да кен орындарында кеңінен қолданылады. 6 дюймдік және 8 дюймдік SIC Crystal өсу процесінде изостатикалық графигі ең алдымен келесі негізгі компоненттерді шығару үшін қолданылады:

Графиттің айвирлеуі: Мұны Sic ұнтағындағы шикізатты синтездеу және сонымен қатар жоғары температурада кристалды өсуге көмектесу үшін қолдануға болады. Оның жоғары тазалығы, температураға төзімділігі және жылу соққыларының тұрақты кристалды өсу ортасын қамтамасыз етеді.

Графит жылытқышы: Бұл жоғары сапалы SIC-тің кристалды өсуін қамтамасыз ететін біркелкі жылу бөлуді қамтамасыз етеді.

Оқшаулау түтігі: бұл кристалды өсу пешінде температураның біркелкілігін сақтайды және жылу шығынын азайтады.

2. Ион имплантациясы

Ион имплантациясы жартылай өткізгіш өндірісіндегі негізгі процесс болып табылады. Изостатикалық графит ең алдымен ион импланерлерінде келесі компоненттерді шығару үшін қолданылады:

Графитті GETTER: Бұл ион сәулесінде ион сәулесінде ион сәулелерін сіңіреді.

Графит фокустарға арналған сақиналар: Бұл ион сәулесін ион сәулесін, иондық имплантациялаудың дәлдігі мен тиімділігін арттырады. Графит субстрат науалары: кремнийді вафлиді қолдау және ион имплантациясы кезінде тұрақтылық пен сәйкестікті сақтау үшін қолданылады.

3. Эпитакси процесі

Эпитакси процесі жартылай өткізгіш құрылғыны өндірісіндегі маңызды қадам болып табылады. ISOSTARY PRESTATED графиті, ең алдымен, эпитакси пештерінде келесі компоненттерді шығару үшін қолданылады:

Графит науалары мен сезімтал: эпитакси процесі кезінде тұрақты қолдау және біркелкі жылуды қамтамасыз ететін кремнийлік вафлиді қолдау үшін қолданылады.

4. Басқа жартылай өткізгішті шығаратын қосымшалар

Сығымдалған графит келесі жартылай өткізгішті шығаратын қосымшаларда кеңінен қолданылады:

Процесс: Графиттік электродтар мен суперстерге арналған қорғаныс компоненттерін өндіру үшін қолданылады. Оның коррозияға төзімділігі және жоғары тазалық процесі тұрақтылықты және дәлдікті қамтамасыз етеді.

Химиялық будың тұнбасы (CVD): CVD пештерінде графит науалары мен жылытқыштар өндіретін. Оның жоғары жылу өткізгіштігі және жоғары температураға төзімділігі біркелкі жұқа пленканы тұндыруды қамтамасыз етеді.

Қаптама тестілеу: сынақ немесе тасымалдаушы науаларды шығару үшін қолданылады. Оның жоғары дәлдігі мен төмен ластануы тесттің нақты нәтижелерін қамтамасыз етеді.

Графит бөліктерінің артықшылықтары

Жоғары тазалық:

Жоғары тазалықты қолданудың жоғары деңгейі өте төмен, артық қоспалы қағаз материалдарын өте төмен, ол жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң материалдың материалдық тазартылуына сәйкес келеді. Компанияның өзіндік тазарту пеші графитті 5ppm-ден төмен тазартуы мүмкін.

Жоғары дәлдік:

Жетілдірілген технологиялық жабдықтармен және пісіру технологиясымен өнімнің өлшемді дәлдігі мен формасы мен позицияға төзімділік микрон деңгейіне жетеді.

Жоғары көрсеткіштер:

Өнім жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі, радиациялық кедергісі, радиациялық кедергісі, жоғары жылу өткізгіштігі және басқа да қасиеттері, жартылай өткізгіш өндірісінің әр түрлі қатал еңбек жағдайларын қанағаттандырады.

Реттелген қызмет:

Жеке өнімнің дизайны және өңдеу қызметтері тұтынушыға сәйкес әр түрлі қолдану сценарийлерінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін берілуі мүмкін.

Графит өнімдерінің түрлері

(1) изостатикалық графит
Изостатикалық графит өнімдері суық изостатикалық басу арқылы шығарылады. Басқа қалыптастыру әдістерімен салыстырғанда, бұл процессте шығарылған креслоттар өте жақсы тұрақтылыққа ие. SIC бірыңғай кристалдарына қажет графит өнімдері барлық үлкен, бұл пайдалану талаптарына сәйкес келмейтін графит өнімдерінің бетінде және ішінде біркелкі емес тазалыққа әкеледі. SIC бірыңғай кристалдарына қажетті үлкен өлшемді графиттік өнімдердің терең тазарту талаптарын қанағаттандыру үшін, үлкен көлемді немесе арнайы пішінді графитті өнімдерді терең және біркелкі тазарту үшін, өнімнің беті мен балығының тазалығы пайдалану талаптарына жауап бере алады.

(2) Кеуекті графит
Кеуекті графит - бұл жоғары кеуекті және төмен тығыздығы бар графит түрі. SIC Crystal өсу процесінде кеуекті графит масштабтағы біртектілікті жақсартуда маңызды рөл атқарады, бұл фазаның өзгеруінің пайда болу жылдамдығын төмендетеді және кристалды пішінді жақсартады.
Кіші графитті қолдану шикізат аймағының температурасы мен температураның біркелкілігін жақсартады, шикізаттың температурасы айырмашылығын арттырады, сонымен қатар шикізат бетінің репристалдануының әлсіреуіне белгілі әсер етеді; Өсу бөлігінде кеуек графиті өсу процесінде материалдық ағынның тұрақтылығын арттырады, өсу аймағының C / SI қатынасын арттырады, фазаның өзгеру ықтималдығын азайтуға көмектеседі, сонымен қатар кеуекті графит кристалды интерфейсті жақсартуда рөл атқарады.

(3) киіз
Жұмсақ киіз және қатты киіз, екеуі де маңызды жылу оқшаулағыш материалдарының рөлін SIC Crystal өсіру және эпитаксиальды сілтемелерде ойнайды.

(4) Графит фольга
Графит қағазы - бұл химиялық өңдеу және жоғары температуралы илемдеу арқылы жоғары көміртекті графиттен жасалған функционалды материал. Оның жоғары жылу өткізгіштік, электр өткізгіштігі, икемділігі және коррозияға төзімділігі бар.

(5) Композициялық материалдар
Көміртекті-көміртегі жылу өрісі - фотоэлектрлік біртұтас кристалды печенье өндірісіндегі негізгі шығын материалдарының бірі.

Subicorex өндірісі

Subicorex кішігірім партиямен графит жасайды, дайындалған өндіріс әдістері. Кішкентай партия өндірісі өнімдерді басқарылатын етеді. Бүкіл процесті бағдарламаланатын логикалық контроллерлер (PLC) басқарады, технологиялық мәліметтердің егжей-тегжейлі мәліметтері жазылды, бұл өмірлік циклді бақылауды қосу.

Қуыру барысында барлық қуыру процесінде консистенция әр түрлі жерлерде кедергілерге қол жеткізді, ал температураның қатаң бақылауы сақталады. Бұл графит материалдарының біртектілігі мен сенімділігін қамтамасыз етеді.

Subicorex толығымен басқа жеткізушілерден өзгеше изостатикалық пресс технологиясын қолданады; Бұл графит - ультра форманың өзі және эпитаксиальды процестерде ерекше дәлелденгендігін білдіреді. Тығыздық, кедергілер, қаттылық, иілу, иілу күші және әр түрлі үлгілердегі күш-жігермен біртектілікке арналған біркелкіліктер өткізілді.