Ішкі бағыттаушы түтік

Semicorex ішкі бағыттаушы түтік дәлдікпен жасалғанкөміртек/көміртек (C/C) компонентіжоғары температуралық термиялық өрістің жетілдірілген қолданбаларына, әсіресе жоғары таза кремний кристалдарының өсуіне арналған. Кристаллды өсіретін пештердегі маңызды элемент ретінде бұл компонент жылу градиентін қалыптастыруда және тұрақтандыруда, кристалдардың оңтайлы түзілуін және тұрақты материал сапасын қамтамасыз етуде орталық рөл атқарады.

Тығыздығы жоғары көміртекті талшықпен күшейтілген көміртекті композиттен жасалған Ішкі бағыттаушы түтік экстремалды жағдайларда ерекше құрылымдық тұтастық пен термиялық тұрақтылықты ұсынады. Тығыздығы ≥1,35 г/см³ және иілу беріктігі ≥110 МПа, ол тіпті жоғары температураға ұзақ әсер еткенде де механикалық беріктігін сақтайды. Бұл қасиеттер жартылай өткізгіштегі кремний өндірісінде өте маңызды, мұнда тіпті жылулық жағдайлардағы шамалы ауытқулар кристалдардың біркелкілігі мен ақаулық жылдамдығына айтарлықтай әсер етуі мүмкін.

Негізгі функционалдылық: Дәлдік градиентті басқару

C/C ішкі бағыттаушы түтіктің негізгі рөлі - дәл градиент температура өрісін құру. Кремний кристалының өсу процесі кезінде ол балқыманың үстінде тікелей орналасады:

Тікелей газ ағыны: ол инертті аргон газының ағынын бағыттайды, кремний оксиді (SiO) буларының балқыма бетінен тиімді сыпырылуын қамтамасыз етеді, кристалдағы оттегінің ластануын болдырмайды.

Термиялық қорғаныс: Ол өсіп келе жатқан кристалды тигель қабырғаларынан тікелей жылу сәулеленуінен қорғайды, жоғары жылдамдықты, жоғары сапалы кристалды тарту үшін қажетті тік осьтік температура градиентін орнатады.

Энергия тиімділігі: балқыту аймағында жылуды шоғырландыру және пештің жоғарғы бөліктерін оқшаулау арқылы ол жалпы қуат тұтынуды айтарлықтай азайтады.

Техникалық сипаттамалар және материалдың тамашалығы

Біздің ішкі бағыттаушы түтіктер тығыздығы жоғарыКөміртекті/көміртекті композиттер, дәстүрлі графитке жоғары балама ұсынады. Материалдың қасиеттері жартылай өткізгіш вакуумдық пештердің төтенше жағдайлары үшін оңтайландырылған:

Тығыздығы: ≥ 1,35 г/см³

Иілу күші: ≥ 110 МПа

Жылулық кеңею коэффициенті (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Жылуөткізгіштік (Бөлме температурасы): ≤ 10 Вт/(м·К)

Өнеркәсіп

Өнеркәсіп пластинаның үлкен өлшемдеріне (300мм және 450мм) қарай жылжыған сайын, жылу өрісіне қойылатын талаптар экспоненциалды түрде артады. Біздің ішкі бағыттаушы түтіктер CZ пештерінің негізгі брендтерімен үйлесімді және геометрия және жабын тұрғысынан теңшеуге болады.