C/C жылытқышы

Жетілдірілген жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өндірісте жоғары сапалы кристалдық құрылымдарға қол жеткізу үшін дәл термиялық бақылау өте маңызды. Semicorex C/C жылытқышы (көміртекті/көміртекті негізгі қыздырғыш) ерекше жылу біркелкілігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жасалған, бұл оны жоғары температуралы кристалды өсіру жүйелерінде маңызды құрамдас етеді.

Жоғарыда көрсетілген C/C қыздырғышында токтың таралуын және жылу сәулеленуін оңтайландыруға арналған дәл кесілген ұялары бар сегменттелген сақина құрылымы бар. Бұл конфигурация жылу градиенттерін тиімді түрде азайтып, кристалдардың тұрақты өсу шарттарын қолдай отырып, жылыту аймағында жоғары біркелкі жылу өндіруге мүмкіндік береді. Ол температура дәлдігі материалдың сапасы мен шығымына тікелей әсер ететін монокристалды кремний (CZ әдісі) және поликристалды кремний өндірісі сияқты процестерде кеңінен қолданылады.

Дәстүрлі графит жылытқыштары жиі қайталанатын жоғары температура циклдері кезінде механикалық ұзақ қызмет ету және термиялық деформациямен күреседі.C/C композиттері, жоғары берік көміртекті талшықтармен күшейтілген, жоғары балама ұсынады. Көміртекті талшықтармен нығайтылған көміртекті матрицаны пайдалану арқылы C/C жылытқышы кремний құймасының өсуі кезінде балқыма-қатты интерфейсті басқаруға қажетті нақты температура градиенттерін бере отырып, ерекше құрылымдық тұтастықты сақтайды.

Негізгі спецификациялар:

Тығыздығы: ≥1,50 г/см³

Жылуөткізгіштік (RT): ≥40 Вт/(м·К)

Электр кедергісі (RT): 20–30 μΩ·m

Электр кедергісі (жоғары температура): 14–20 μΩ·м

Кремнийдің өсуінің негізгі артықшылықтары

1. Ерекше жылу біркелкілігі

C/C негізгі қыздырғышының негізгі функциясы жылуды симметриялы бөлуді қамтамасыз ету болып табылады. Монокристалды кремний өсу кезінде тіпті температура градиентінің шамалы ауытқуы оттегі жауын-шашын мәселелеріне немесе дислокацияға әкелуі мүмкін. Жылытқыштарымыздың талшықпен күшейтілген құрылымы тұрақты өсу қарқынын қамтамасыз ете отырып, жылудың тигель бойымен біркелкі таралуын қамтамасыз етеді.

2. Жақсартылған химиялық тазалық

Ластану – жартылай өткізгіш тиімділігінің жауы. Біздің C/C жылытқыштарымыз күл құрамын минимумға дейін (әдетте <20ppm) сақтау үшін жоғары температурада тазарту процестерінен өтеді. Бұл металл қоспаларының кремний балқымасына түсуіне жол бермейді, бұл N-типті немесе P-типті пластиналар үшін талап етілетін жоғары кедергі мен тасымалдаушының қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді.

3. Ұзақ өмір сүру және үнемділік

Стандартты изостатикалық графитпен салыстырғанда,C/C композиттерікүш-салмақ қатынасы әлдеқайда жоғары. Олар термиялық соққыға өте төзімді және 1500℃-ден асатын температурада ұзақ уақыт қолданғаннан кейін сынғыш болып қалмайды. Бұл ұзақ мерзімділік пештерді бұзудың азаюына және зауыт операторлары үшін меншіктің жалпы құнының төмендеуіне әкеледі.

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі қолданбалар

Кремний тартпаларында (CZ пештерінде) негізінен орталық жылыту элементі ретінде пайдаланылғанымен, бұл C/C жылытқыштары сонымен қатар:

Полисилицийді қалпына келтіру пештері: химиялық буларды тұндыру процесі үшін тұрақты жылуды қамтамасыз етеді.

Жоғары температурадағы вакуумдық пештер: озық керамикалық материалдарды агломерациялау және күйдіру үшін.