Эпитаксиалды өсудегі қосалқы бөлшектер

Эпитаксиалды өсудегі Semicorex қосалқы бөлшектері, әсіресе кварц түтіктерін орнатуды қамтитын процестер үшін өте маңызды. Бұл бөліктер науа негізінің айналуын қамтамасыз ету үшін газ ағынын жеңілдету және эпитаксиалды өсу процесінде температураны дәл бақылауды қамтамасыз ету үшін маңызды. Эпитаксиалды өсудегі Semicorex қосалқы бөлшектері, әдетте жарты бөліктер деп аталады, эпитаксиалды өсу камераларына тән жоғары температура мен коррозиялық ортаға төтеп беру үшін мұқият жасалған. Кремний карбидінен (SiC) жасалған олар ерекше термиялық және химиялық тұрақтылықты ұсынады, бұл оларды осындай талап етілетін қолданбалар үшін тамаша таңдау жасайды. SiC пайдалану бұл бөліктердің ең қиын жағдайларға да төтеп бере алатынын қамтамасыз етеді.

Эпитаксиалды өсудегі қосалқы бөлшектер кварц түтіктер жинағына тығыз орналасуға арналған жарты айдың пішініне ұқсайды. Олардың бірегей жарты ай конфигурациясы оларды жүйеден оңай енгізуге және жоюға мүмкіндік береді, техникалық қызмет көрсету және ауыстыру процедураларын тиімділік пен дәлдікпен жеңілдетеді.

Эпитаксиалды өсудегі қосалқы бөлшектер бірнеше мақсатқа қызмет етеді. Біріншіден, олар эпитаксиалды өсу процесі үшін қажетті газдарды бақыланатын жеткізуге көмектеседі. Газ ағынының жылдамдығы мен таралуын реттей отырып, олар жартылай өткізгіш материалдардың субстрат бетіне біркелкі түсуін қамтамасыз етеді, бұл қажетті материал қасиеттеріне және құрылғы өнімділігіне қол жеткізу үшін өте маңызды.

Эпитаксиалды өсудегі қосалқы бөлшектер өсу камерасындағы науа негізінің айналмалы қозғалысына ықпал етеді. Бұл айналу эпитаксиалды қабаттардағы бұзылулардың немесе ақаулардың пайда болуына жол бермей, тұндырылған материалдардың біркелкі таралуына ықпал ету үшін маңызды.