Қытай Керамика Өндірушілер, Жабдықтаушылар, Зауыт

Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температураға және химиялық төзімділікке ие, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.

Жоғары таза SiC керамикалық компоненттері жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз вафли өңдеу жабдығына арналған шығын материалдарының бөліктерінен бастап, мысалы, кремний карбиді вафельді қайық, консоль қалақшалары, түтіктер және т.б. Epitaxy немесе MOCVD үшін.

Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары

Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе ою немесе иондық имплант сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидінің (SiC) құрылымы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, эпи қабаттың тұрақты қалыңдығы мен төзімділігі үшін тіпті термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.

Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіргенде және пластинаны өңдеуде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.

Консольдық қалақ →
Консольдық қалақ - жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде, әсіресе диффузиялық немесе LPCVD пештерінде диффузия және RTP сияқты процестерде қолданылатын маңызды компонент.

Процесс түтігі →
Процесс түтігі RTP, диффузия сияқты жартылай өткізгіштерді өңдеудің әртүрлі қосымшаларында арнайы әзірленген маңызды құрамдас бөлігі болып табылады.

Вафельді қайықтар →
Вафельді қайық жартылай өткізгішті өңдеуде қолданылады, ол өндірістің маңызды кезеңдерінде нәзік вафлилердің қауіпсіз сақталуын қамтамасыз ету үшін мұқият әзірленген.

Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.

Фокус сақинасы →
Semicorex кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.

Вафельді Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.

Semicorex сонымен қатар алюминий тотығы (Al2O3), кремний нитриді (Si3N4), алюминий нитриді (AIN), цирконий (ZrO2), композиттік керамика және т.б. керамикалық өнімдерге ие.