Кремний карбиді керамикалық вафельді қайықтар

Премиум материалды таңдау

Semicorex кремний карбиді керамикасының тамаша қасиеттерівафельді қайықтаржоғары сапалы шикізатқа байланысты. Жартылай өткізгішті SiSiC материалынан жасалған және CVD SiC жабынымен жабылған кремний карбиді керамикалық вафельді қайықтар келесі тамаша қасиеттерді көрсетеді.

1.Ультра-жоғары тазалық, металл қоспаларының шығарылуы жоқ

Субстрат қоспасы: ＜100 ppm

CVD SiC жабынының қоспасы: ＜1 ppm

2. Жоғары термиялық тұрақтылық

Кремний карбидті керамикалық вафельді қайықтар 1250℃ жоғары температура жағдайында тұрақты жұмыс істей алады, минималды деформация мен сусымалыға төзімділік береді.

3. Жоғары механикалық беріктік

Кремний карбидіжоғары қаттылық пен тозуға төзімділікке ие, бұл Semicorex кремний карбиді керамикалық вафельді қайықтарға сызаттарға, қажалуларға және зақымдануға қарсы тұруға мүмкіндік береді, осылайша ұзақ мерзімді жұмыс кезінде жақсы жұмыс істейді және зақымдануға төзімді.

4. Коррозияға ерекше төзімділік

Кремний карбиді күшті қышқылдар мен сілтілерден коррозияға төзімді болғандықтан,  Semicorex кремний карбиді керамикалық вафельді қайықтар тіпті жоғары коррозиялық жұмыс жағдайында да өзінің құрылымдық тұтастығы мен функционалдық өнімділігін сақтай алады.

Оңтайландырылған құрылымдық дизайн

Semicorex кремний карбидті керамикалық вафельді қайықтар пакеттік вафлиді өңдеуге арналған, олардың оңтайландырылған құрылымдық негізі тұрақты пакеттік пластинаны қолдауды және әрбір вафли үшін дәйекті процестің тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

1.3 посттық тік тірек құрылымы

Semicorex кремний карбиді керамикалық вафельді қайықтардың тік құрылымы оларға тік пеш қолданбаларына біркелкі сәйкес келуге мүмкіндік береді. Бұл құрылым арқылы  emicorex кремний карбиді керамикалық вафли қайықтары технологиялық газдардың біркелкі айналымын және жоғары температуралы пеш ішінде жылу энергиясын біркелкі бөлуді жеңілдетеді.

2.Біркелкі бөлінген ұяшықтарды қысу

Semicorex кремний карбиді керамикалық вафельді қайықтар тірек тіректерінде дәлме-дәл өңделген бірнеше ойық шымшулармен жабдықталған. Олардың біркелкі аралық саңылаулары сәйкес ұялар аралығына қол жеткізеді, бұл кремний карбиді керамикалық вафлиді қайықтарға жартылай өткізгіш пластиналарды мықтап бекітуге мүмкіндік береді, осылайша пластинаны термиялық өңдеу нәтижелерінің консистенциясын жақсартуға ықпал етеді.

Көптеген тамаша өнімділігі мен функциялары бар Semicorex кремний карбиді керамикалық вафли қайықтары тотығу, диффузия, иондарды имплантациялау және жоғары температурада күйдіру сияқты жартылай өткізгіш пластиналар өндірісінің негізгі процестерінде кеңінен қолданылады.