Кремний карбидті кассеталық қайықтар

Semicorexкремний карбидті кассеталық қайықтартұрақты және жоғары берік құрылымы бар, бірнеше жартылай өткізгіш пластиналарды қауіпсіз және дәл ұстайтын, тасымалдайтын және өңдейтін таптырмайтын тасымалдау компоненттері болып табылады. Олар тұрақты өңдеу нәтижелері үшін жылу мен газ ағынының оңтайландырылған таралуын қамтамасыз ету үшін әртүрлі жоғары температуралы жартылай өткізгіш процестерде кеңінен қолданылады.

Мұқият іріктелген шикізат

Жартылай өткізгішті кремний карбиді ұнтағынан жоғары температурада агломерациялау арқылы дәл жасалған, Semicorex кремний карбиді кассеталық қайықтар келесі тамаша қасиеттерге ие.

1. Өте жоғары тазалық:Субстраттың қоспасы 100 PPM-ден төмен болуы, ал қоспаның деңгейіCVD кремний карбидіжабын 1 PPM-ден аз жетуі мүмкін.

2. Сенімді коррозияға төзімділік:Кремний карбиді керамика күшті коррозияға төзімділік береді және ол көптеген қышқылдардан (мысалы, тұз қышқылы, күкірт қышқылы және фтор қышқылы), сілтілерден (мысалы, каустикалық сода), еріткіштерден және тотықтырғыш ортадан коррозияға төзімді.

3. Жылуды басқарудың ерекше мүмкіндігі:Ерекше термиялық төзімділікпен және төмен термиялық кеңею коэффициентімен кремний карбидті кассеталық қайықтар 1250 °C шамасында жоғары температурада ұзақ жұмыс жағдайларына ұшыраған кезде де өздерінің химиялық қасиеттері мен механикалық беріктігін сақтай алады.

Нақты жобаланған құрылым

1. Көлденең жақтау құрылымы:Semicorex кремний карбидті кассеталық қайықтардың көлденең рамалық құрылымы оларды көлденең жоғары температуралы пеш түтіктеріне өте ыңғайлы етеді.

2. Біркелкі орналасқан ойықтар:Көптеген біркелкі аралық ойықтары бар Semicorex кремний карбидті кассеталық қайықтар пластинаны орнында мықтап ұстай алады, бұл пластинаның орын ауыстыруынан туындайтын қажетсіз сызаттар, қажалулар және зақымдануларды айтарлықтай болдырмайды, осылайша жартылай өткізгіш процесінің тұрақтылығын және пластинаның шығымдылығын тиімді қамтамасыз етеді.

3. Көп ұялы дизайн:Бірнеше вафельді тасымалдауға арналған бірнеше слоттар Semicorex кремний карбиді кассеталық қайықтарға олардың бір партиялық өңдеу өткізу қабілетін және жалпы өндіріс тиімділігін арттыруға мүмкіндік береді.

4. Ашық архитектура:Semicorex кремний карбиді кассеталық қайықтар ойластырылған ашық архитектурамен жабдықталған, бұл біркелкі газ таратуға және жеткілікті реакциялық байланысқа қол жеткізуге көмектеседі, осылайша сәйкес келмейтін процесс нәтижелерін тиімді түрде азайтады.