Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температураға және химиялық төзімділікке ие, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.
Жоғары таза SiC керамикалық компоненттері жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз вафли өңдеу жабдығына арналған шығын материалдарының бөліктерінен бастап, мысалы, кремний карбиді вафельді қайық, консоль қалақшалары, түтіктер және т.б. Epitaxy немесе MOCVD үшін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидінің (SiC) құрылымы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, эпи қабаттың тұрақты қалыңдығы мен тұрақтылығы үшін тіпті термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Консольдық қалақ →
Консольдық қалақ - жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде, әсіресе диффузиялық немесе LPCVD пештерінде диффузия және RTP сияқты процестерде қолданылатын маңызды компонент.
Процесс түтігі →
Процесс түтігі RTP, диффузия сияқты жартылай өткізгіштерді өңдеудің әртүрлі қосымшаларында арнайы әзірленген маңызды құрамдас бөлігі болып табылады.
Вафельді қайықтар →
Вафельді қайық жартылай өткізгішті өңдеуде қолданылады, ол өндірістің маңызды кезеңдерінде нәзік вафлилердің қауіпсіз сақталуын қамтамасыз ету үшін мұқият әзірленген.
Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Semicorex сонымен қатар алюминий тотығы (Al2O3), кремний нитриді (Si3N4), алюминий нитриді (AIN), цирконий (ZrO2), композиттік керамика және т.б. керамикалық өнімдерге ие.
Semicorex Vertical Silicon Boat – жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде қолданылатын маңызды құрамдас бөлік, Semicorex жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қатаң талаптарын қанағаттандыруға бейімделген теңдесі жоқ сапа мен дәлдікпен теңшелген тік кремний қайығын береді.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex компаниясының Si3N4 тығыздағыш сақинасы Si3N4, ерекше бейорганикалық материалдан жасалған керамикалық инженериядағы елеулі жетістіктерді білдіреді. Бұл керамика өлшемдік тұрақтылық пен консистенцияны қамтамасыз ететін, агломерациялық процесс кезінде кішіреймейтін бірегей қасиетімен танымал.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Alumina Fastener химиялық буларды тұндыру (CVD), иондарды имплантациялау, фотолитография және жартылай өткізгіштерді өндіруде қолданылатын жабдықтың құрылысының ажырамас бөлігі болып табылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC сорғы білігі магнитті сорғылардың, экрандық сорғылардың, көп сатылы сорғылардың, гидравликалық сорғылардың, химиялық сорғылардың және центрифугалардың ажырамас бөлігі ретінде теңдесі жоқ өнімділігімен және сенімділігімен ерекшеленеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуТөтенше жағдайларға төтеп беруге арналған, Semicorex ұсынған AlN керамикалық тигель түсті металдармен және галлий арсениді сияқты жартылай өткізгіш материалдармен жұмыс істейтін кәсіпқойлар үшін таптырмас құрал болып табылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуAlumina Boat by Semicorex жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде, жалпы машиналарда және жоғары температуралық процестерде өз орнын табады, бұл сенімділік пен дәлдікке ұмтылатын кәсіпқойлар үшін қажет екенін дәлелдейді.
Ары қарай оқуСұрау жіберу