SiC вафельді қайық тасымалдаушысы

Жартылай өткізгіштер өндірісінің қарқынды дамып келе жатқан ландшафтында, атап айтқанда, электр машиналарына, 5G инфрақұрылымына және жаңартылатын энергияға арналған SiC және GaN қуат құрылғыларын өндіру — вафельді өңдеуге арналған жабдықтың сенімділігі келіспейді. Semicorex SiC вафельді қайық тасымалдаушысы жоғары температуралы, жоғары тазалықтағы орталарда дәстүрлі кварц пен графит компоненттерін ауыстыруға арналған материалды жасаудың шыңын білдіреді.

Неліктен кремний карбиді салалық таңдау болып табылады?

Жартылай өткізгіш түйіндер кішірейіп, пластинаның өлшемдері 200 мм-ге (8 дюйм) ауысқанда, кварцтың термиялық және химиялық шектеулері тығырыққа тіреледі. Біздің SiC вафельді қайық тасымалдауышымыз инженерлік жолмен жасалғанАгломерленген кремний карбидінемесе жылу өткізгіштіктің, механикалық беріктіктің және химиялық инерттіліктің бірегей комбинациясын ұсынатын CVD жабыны бар SiC.

1. Ерекше термиялық тұрақтылық

Дәстүрлі материалдар диффузия мен жасыту үшін қажетті экстремалды температура әсерінен жиі «төмендеу» немесе деформациядан зардап шегеді. Біздің SiC вафельді қайық тасымалдағышымыз 1600°C-тан асатын температурада құрылымдық тұтастықты сақтайды. Бұл жоғары термиялық тұрақтылық пластинаның ұяшықтары автоматтандырылған робот тасымалдау кезінде «сықырлауды» немесе кептелуді болдырмай, мінсіз тураланған күйде қалуын қамтамасыз етеді.

2. Жоғары тазалық және төмен ластану

Таза бөлме жағдайында бөлшектер шығымдылықтың жауы болып табылады. Біздің қайық тасымалдаушылар жеке меншік CVD (химиялық буларды тұндыру) жабу процесінен өтеді. Бұл қоспаның шығуына қарсы тосқауыл ретінде әрекет ететін тығыз, кеуекті емес бетті жасайды. Металл қоспаларының өте төмен деңгейлері арқылы біздің тасымалдаушылар сіздің пластиналарыңыздың (кремний немесе кремний карбиді болсын) маңызды жоғары қызу циклдері кезінде айқаспалы ластанудан таза болуын қамтамасыз етеді.

3. Сәйкес CTE (жылулық кеңею коэффициенті)

Вафли кернеуі мен сырғанау сызықтарының негізгі себептерінің бірі тасымалдаушы мен пластинаның термиялық кеңеюінің сәйкес келмеуі болып табылады. Біздің SiC қайықтарымыз SiC пластинкаларына сәйкес келетін CTE-мен жасалған. Бұл синхрондау жылдам қыздыру және салқындату фазалары (RTP) кезінде механикалық кернеуді азайтып, жалпы шығымдылықты айтарлықтай жақсартады.

Негізгі техникалық сипаттамалар

Жетілдірілген өндірістегі қолданбалар

Біздің SiC вафельді қайық тасымалдағышымыз фабрикадағы ең талап етілетін «ыстық аймақ» процестеріне оңтайландырылған:

• LPCVD & PECVD: Химиялық прекурсорларға жоғары төзімділік қайықтың тозуын болдырмайды, бұл процесс жиынтығының тұрақты қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді.
• Жоғары температурадағы тотығу: кварцтан айырмашылығы, SiC мыңдаған циклдар бойы күшін сақтай отырып, девитификацияланбайды.
• Диффузия және күйдіру: қайықтағы жоғары жылу біркелкілігі партиядағы әрбір пластинаның дәл бірдей жылу профилін сезінуін қамтамасыз етеді.
• SiC эпитаксиясы: SiC субстраттарында эпитаксиалды қабаттарды өсіру үшін қажет қатал орталарға төтеп беру үшін арнайы әзірленген.

Тұрақтылық үнемділікке сәйкес келеді

SiC аппараттық құралдарына бастапқы инвестиция кварцқа қарағанда жоғары болғанымен, меншіктің жалпы құны (TCO) айтарлықтай төмен. Біздің тасымалдаушылар ұзақ қызмет ету үшін жасалған, көбінесе дәстүрлі материалдарға қарағанда 5-10 есе ұзақ қызмет етеді. Бұл бөлшектерді ауыстыру үшін құралдың тоқтап қалу жиілігін азайтады және қымбат пластинаның бүкіл партиясын бұзуы мүмкін апатты қайықтың істен шығу қаупін азайтады.

Процессіңізді дәлелденген инженерияға сеніңіз

Біз жартылай өткізгіш өнеркәсібінде «жеткілікті жақсы» ешқашан жеткіліксіз екенін түсінеміз. Біздің өндірістік процесс 100% CMM өлшемді тексеруді және вакуумды орау алдында жоғары тазалықтағы ультрадыбыстық тазалауды қамтиды.

200 мм SiC қуат құрылғысының желісін ұлғайтып жатсаңыз немесе бұрынғы 150 мм процесті оңтайландырсаңыз да, біздің инженерлік топ саңылау қадамын, қайық ұзындығын және пештің арнайы талаптарын қанағаттандыру үшін өңдеу конфигурацияларын теңшеуге қол жетімді.