Semicorex SiSiC вафельді қайық жартылай өткізгіштің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады, ол CVD жабыны бар жоғары таза кремний карбиді керамикадан жасалған. Semicorex тұтынушылардың қажеттіліктеріне негізделген ең қолайлы шешімдерді ұсына алады және дүние жүзіндегі серіктестердің біліктілігіне ие.*.
Жартылай өткізгіштер мен күн батареялары өндірісінің бәсекеге қабілетті ландшафтында құрамдас ұзақ қызмет ету мерзімімен өткізу қабілетін теңестіру маңызды. БіздіңSiSiC Вафельді қайық жоғары температурада жұмыс істейтін пештер үшін «өнеркәсіптік жұмыс күші» болу үшін жасалған. Реакциялық байланыстыру процесін қолдану арқылы біз дәстүрлі кварц пен стандартты керамикамен салыстырғанда жоғары механикалық беріктік пен термиялық соққыға төзімділікті ұсынатын тасымалдаушыны жеткіземіз.
Жоғары қысымды ұнтақты біріктіру арқылы түзілетін агломерленген SiC-тен айырмашылығы,SiSiC вафельді қайық кеуекті көміртекті преформаны балқытылған кремниймен инфильтрациялау арқылы өндіріледі. Бұл «реакциялық байланыстыру» процесі өндіріс кезінде нөлге жуық шөгуі бар материалға әкеледі, бұл керемет өлшемдік дәлдікпен күрделі, ауқымды қайық архитектурасын жасауға мүмкіндік береді.
Топтаманы өңдеудегі ең маңызды мәселелердің бірі пештің жылдам «итеру-тарту» циклі болып табылады. Кварцты тасымалдаушылар жиі термиялық кернеу кезінде жарылып кетеді. SiSiC айтарлықтай жоғары жарылу модуліне (MOR) және тамаша жылу өткізгіштікке ие. Бұл біздің қайықтарға құрылымдық бұзылу қаупінсіз жылдам температураның көтерілуіне төтеп беруге мүмкіндік береді, бұл жабдықтың тоқтап қалу уақытын азайтады.
Вафли өлшемдері ұлғайған сайын және өткізу қабілеттілігін арттыру үшін партиялар үлкейген сайын, тасымалдаушыдағы салмақ артады. Біздің SiSiC қайықтары сусылуға ерекше қарсылық көрсетеді. Басқа материалдар 1250°C температурада ауыр жүктемелер кезінде салбырап қалуы немесе майысуы мүмкін болса да, SiSiC өзінің геометриясын сақтайды, бұл пластина ұясының параллелдігі мыңдаған циклдар ішінде мінсіз болып қалуын қамтамасыз етеді.
Біздің SiSiC қайықтарымыз қатал химиялық ортаға арналған. Материал LPCVD және диффузиялық процестерде қолданылатын коррозиялық газдарға табиғи түрде төзімді. Сонымен қатар, беті «еркін кремний» миграциясының болмауын қамтамасыз ету үшін өңделеді, бұл сіздің пластиналарыңыздың электрлік тұтастығын қорғайтын тұрақты, таза ортаны қамтамасыз етеді.
| Меншік |
SiSiC (реакциямен байланысты) |
Дәстүрлі кварц |
Өнеркәсіптік пайда |
| Максималды пайдалану температурасы |
1350°C – 1380°C |
~1100°C |
Жоғары процесс икемділігі |
| Жылу өткізгіштік |
> 150 Вт/м·К |
1,4 Вт/м·К |
Жылдам, біркелкі жылыту |
| Серпімді модуль |
~330 ГПа |
~70 ГПа |
Ауыр жүктемелер кезінде салбырап кетпейді |
| Кеуектілік |
< 0,1% |
0% |
Минималды газды сіңіру |
| Тығыздығы |
3,02 - 3,10 г/см³ |
2,20 г/см³ |
Жоғары құрылымдық тұрақтылық |
Біздің SiSiC вафельді қайық әлемдегі жетекші OEM пештерімен, соның ішінде TEL (Tokyo Electron), ASM және Kokusai Electric компанияларымен үйлесімді. Біз жеке шешімдерді ұсынамыз:
Көлденең диффузиялық пештер: 150 мм және 200 мм пластиналар үшін жоғары дәлдіктегі ойықтары бар ұзын ұзын қайықтар.
Тік пеш жүйелері: газ ағынын және жылу біркелкілігін оңтайландыратын төмен массалық конструкциялар.
Күн PV ұяшықтарын өндіру: жоғары көлемді POCl3 диффузиясына арналған, кварцқа қарағанда 5-10 есе ұзақ қызмет ету мерзімін ұсынатын мамандандырылған SiSiC тасымалдаушылары.
Expert Insight: 1380°C асатын процестер үшін Sintered SiC желісін ұсынамыз. Дегенмен, диффузия, тотығу және LPCVD қадамдарының басым көпшілігі үшін SiSiC саладағы ең үнемді өнімділік пен қызмет ету мерзімі арақатынасын қамтамасыз етеді.
Материалдық сараптама: Біз реакциялық байланыстыру үдерісі үшін тек жоғары таза альфа-SiC ұнтағы мен электронды сортты кремнийді аламыз.
Дәлдік инженерия: Біздің CNC тегістеу мүмкіндіктері пластинаның дірілі мен сынуын азайта отырып, ±0,02 мм шегіндегі ойықтарға төзімділікке мүмкіндік береді.
Тұрақтылық және ROI: кварцтан SiSiC-ке ауысу арқылы зауыттар ауыстыру жиілігінің айтарлықтай төмендеуіне байланысты жыл сайынғы тұтыну материалдарының шығынын әдетте 40%-ға азайтады.
Біз жөнелтетін әрбір қайық сәйкестік сертификатымен (CoC) және толық өлшемді тексеру есебімен бірге жүреді, бұл сіздің технологиялық жинағыңыздың таза бөлмеге дереу орнатуға дайын болуын қамтамасыз етеді.