Sic робот қолдары

Subicorex Sicro роботтары - бұл робототехникалық вафлиге арналған беріктікке арналған соңғы эффектілердің соңғы эфирлерінің соңғы эфирлері. Жоғары сапалы материалдармен жасалған, біз осы роботты қолдарды кремді карбидімен (SIC) кремді қолымыздан жасадық, біз вафлидің немесе өңдеудің көп күш-жігерінің максималды термиялық тұрақтылығы, химиялық тұрақтылық және механикалық беріктік.

Біздің ең орталық біздің ең орталық робот қолы - біздің игілік дамығанкремний карбидіЖоғары қаттылығымен (9-мох), жоғары жылу өткізгіштік және коррозияға төзімділікпен танымал. Алюминий немесе тот баспайтын болат сияқты дәстүрлі материалдардан айырмашылығы, SIC жартылай өткізгіш тазартқыштардың қатал өңдеу ортасымен, соның ішінде өңделген жоғары температура мен реактивті газдармен үйлеседі. Біз ұзақ мерзімді беріктікті ұсынамыз және вафли өндірісіне қажет қатаң тазалыққа сәйкес ластануды азайтамыз.

SIC роботы бар жартылай өткізгіш жабдық вафлиді алу үшін теріс қысым сорғышты пайдаланады.

«Жоғары жылдамдық» және «тазалық» жартылай өткізгіш вафли жабдықтарының негізгі сипаттамалары болып табылады. Осы сипаттамаларды қанағаттандыру үшін жабдықтың қолданылған компоненттердің жұмысына өте қатаң талаптар бар. Көптеген процестер вакуумда, жоғары температурада және коррозиялық газ ортасында жүзеге асырылғандықтан, жабдықты жұмыс істеп тұрған қару-жарақтан жасалған, мысалы, жоғары механикалық, коррозияға төзімділік, жоғары температураға төзімділік, тозуға төзімділік, оқшаулау, оқшаулау және т.б.

Кремний карбидті керамикатығыз құрылымның физикалық қасиеттері, жоғары қаттылық, жоғары қаттылық, жоғары төзімділік, сондай-ақ жақсы ыстыққа төзімділік, тамаша механикалық беріктік, жоғары температуралы ортадағы жақсы оқшаулау, жақсы оқшаулау және басқа физикалық қасиеттер. Бұл жартылай өткізгіш жабдықтарды қолмен ұстау үшін тамаша материал.

Роботты платформалар FABS және құралдар өндірушілері бойынша әртүрлі, біздің SIC роботтарының қолдары әр түрлі болады, біздің робот қолдары стандартталған өлшемдер бойынша қол жетімді және оны бірегей құралдардың конфигурациялары үшін баптауға болады. Интерфейстерді, саусақтардың геометрияларын және вафли қолдау мүмкіндіктерін нақты жабдықтармен және процестерге сәйкес келтіру үшін бейімделуі мүмкін. Сіз вафлиді кластерлік құралдар, вакуумдық палаталар немесе фокс жүйелерінде тапсырусыз ба, біздің робот қолдары жетекші робототехникалық брендтермен үздіксіз біріктіреді.

Әрбір Sic Robot қолында тазалау, тексеру және буып-түю процедуралары 1-сыныптың 1-класстарының стандарттарына сәйкестігін қамтамасыз етеді. Куекті емес, статикалық емес, СИК-тің анти-статикалық беті бөлшектердің адгезиясын азайтады, ал берікті құрылым уақыт өте келе бөлшектердің ұрпақтарына әкелуі мүмкін микроқаржыдан басталады. Бұл оларды алдыңғы вафли процестеріне өте ыңғайлы етеді, онда тіпті кішкене ластану құрылғының істен шығуына әкелуі мүмкін.

Эпитакси мен ион имплантациясынан PVD, CVD және CMP, SIC робот қолдарынан жартылай өткізгіш құрылғыны дайындаудың әр сатысына сенеді. Олардың жылу соққысы мен плазмалық орталарына ең қымп тұрақтары оларды алдыңғы қатарлы логикалық және қуатты жартылай өткізгіш желілерде, әсіресе SIC вафли субстраларында пайдаланады.