Semicorex – жартылай өткізгішті өңдеу жабдығында жоғары өткізу қабілеті мен жақсы өнімділікті қолдау үшін кеңейтілген графит құрамдастары мен жинақтары бойынша серіктесіңіз. Біздің материалдар бойынша сарапшылар Вафельді өңдеу, жылыту және өңдеу талаптары үшін оңтайлы дұрыс шешімді әзірлеу үшін материалдармен | Біздің Ceramic End Effector бағаның жақсы артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ceramic End Effector - жартылай өткізгіш пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы. Соңғы эффектор өлшемді дәл және термиялық тұрақты болуы керек, сонымен қатар құрылғыларды зақымдамай немесе бөлшектердің ластануын тудырмай, пластиналарды қауіпсіз өңдеу үшін тегіс, тозуға төзімді беті болуы керек. Біздің жоғары таза кремний карбидті керамикалық соңғы эффекторымыз жоғары ыстыққа төзімділікті, эпи қабаттың тұрақты қалыңдығы мен тұрақтылығы үшін біркелкі термиялық біркелкілікті және ұзақ химиялық төзімділікті қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз жоғары сапалы, үнемді керамикалық соңғы эффекторды ұсынуға назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Керамикалық соңғы эффектордың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Жоғары тазалықтағы керамикалық соңы эффектордың ерекшеліктері
● Жоғары таза SiC қапталған графит
● Жоғары ыстыққа төзімділік және жылу біркелкілігі
● Тегіс бет үшін жұқа SiC кристалы қапталған
● Химиялық тазалауға төзімділігі жоғары
● Материал жарықтар мен қабаттар пайда болмайтындай етіп жасалған.